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中國造不出光刻機?中科大副院長:美國造不出,中國永遠(yuǎn)都不可能

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2024年9月,中科大前副院長朱士堯一句“美國造不出,中國就更不可能”,直接把光刻機話題推上了熱搜。

有人罵他長別人志氣、滅自己威風(fēng),也有人覺得他戳破了不切實際的幻想。



這話聽著格外扎心,卻也是半導(dǎo)體行業(yè)最殘酷的現(xiàn)實。

全球頂級光刻機從來不是一個國家能單打獨斗搞出來的,而是多國技術(shù)聯(lián)手的成果,就算美國牽頭也湊不齊全套技術(shù),中國更不可能關(guān)起門來就把它造出來。



其實這句話不是最近說的,最早出自2021年2月的一次媒體采訪,當(dāng)時中美科技摩擦正處于緊張階段,美國已經(jīng)開始推動荷蘭限制對華出口先進(jìn)光刻機。

朱士堯作為物理學(xué)專家,研究相關(guān)領(lǐng)域多年,他說這話,并不是否定中國的能力,而是基于光刻機的實際情況,說出的大實話。



很多人都以為,光刻機就是一臺普通的機器,只要有錢、有技術(shù)人員,就能造出來,可實際上,它的復(fù)雜程度遠(yuǎn)超所有人的想象。

現(xiàn)在最先進(jìn)的光刻機,單臺重180噸,里面有10萬個零件,涉及光學(xué)、精密機械、材料科學(xué)等數(shù)十門頂尖學(xué)科,不是單一國家能獨立完成的。



朱士堯說“美國造不出”,并不是說美國沒有技術(shù),而是美國就算再厲害,也沒法單獨造出最先進(jìn)的光刻機。

目前全球能造最先進(jìn)EUV光刻機的只有荷蘭ASML公司,但這家公司也不是自己能造出所有部件,核心部件都來自全球各地。



EUV光刻機的核心光源,來自美國的Cymer公司,這種光源需要用激光每秒轟擊5萬次錫珠,才能產(chǎn)生13.5納米的極紫外光,這種技術(shù)美國能研發(fā),但沒法單獨量產(chǎn)。

而光刻機的光學(xué)鏡頭,全世界只有德國蔡司公司能造,表面平整度誤差不能超過0.1納米,這種精度,美國自己也做不到。



除此之外,光刻機的控制系統(tǒng)、精密傳感器等關(guān)鍵部件,還需要日本、德國等多個國家的企業(yè)配合,美國就算有核心技術(shù),脫離了全球供應(yīng)鏈,也造不出完整的先進(jìn)光刻機。

朱士堯正是看到了這一點,才說出那樣的話,他的意思是,光刻機是全球協(xié)作的產(chǎn)物,美國都做不到脫離協(xié)作單獨制造,中國目前自然也做不到。



這話在當(dāng)時就引起了不小的波瀾,很多人誤讀了他的意思,以為他是在潑冷水,否定中國研發(fā)光刻機的努力。

直到2024年9月,這段舊訪談被重新剪輯發(fā)布,再次刷屏,播放量超過百萬,人們才開始重新審視這句話的含義。



其實朱士堯的話,針對的是最先進(jìn)的EUV光刻機,而不是所有光刻機,他也沒有否定中國在光刻機領(lǐng)域的進(jìn)步。

中國并不是造不出光刻機,國內(nèi)有一家叫上海微電子的公司,是中國大陸唯一能研發(fā)、量產(chǎn)前道光刻機的企業(yè)。



這家公司已經(jīng)量產(chǎn)了90納米的光刻機,主要用于功率器件、汽車電子等領(lǐng)域,2025年還交付了28納米的光刻機,良率達(dá)到90%以上。

28納米的光刻機雖然不是最先進(jìn)的,但已經(jīng)能滿足大部分汽車芯片、工業(yè)芯片的需求,而且成本比ASML的設(shè)備低40%左右。



2026年,上海微電子還官宣,28納米的光刻機已經(jīng)進(jìn)入中芯國際、華虹等企業(yè)的產(chǎn)線驗證,很快就能批量供貨。

除此之外,中國在光刻機的配套部件上也在逐步突破,比如光刻膠,2025年已經(jīng)實現(xiàn)28納米級光刻膠量產(chǎn),不用再完全依賴進(jìn)口。



福晶科技生產(chǎn)的激光晶體,占據(jù)全球六成份額,甚至已經(jīng)成為ASML的供應(yīng)商,這也是中國在光刻機領(lǐng)域的一個優(yōu)勢。

還有哈爾濱工業(yè)大學(xué)的團(tuán)隊,2025年攻克了EUV光源原型,雖然離商用還有距離,但已經(jīng)邁出了關(guān)鍵一步。



很多人疑惑,既然中國已經(jīng)有了這些突破,為什么還造不出最先進(jìn)的EUV光刻機?其實答案很簡單,就是差距確實存在,而且需要時間追趕。

ASML的EUV光刻機,是全球5000多家供應(yīng)商共同協(xié)作的結(jié)果,英特爾、臺積電、三星還聯(lián)合向ASML注資,形成了深度綁定的生態(tài)。



這種模式,讓ASML在EUV領(lǐng)域形成了壟斷,其他國家想要追趕,不僅需要突破技術(shù)難關(guān),還需要搭建自己的供應(yīng)鏈體系,這不是短時間能完成的。

美國雖然能提供EUV的核心光源,但離不開德國的鏡頭、日本的部件,沒法單獨造出來;中國起步更晚,自然需要更多時間積累。



朱士堯的話,其實是一劑清醒劑,他不是否定中國的努力,而是提醒大家,研發(fā)光刻機不能急于求成,要尊重客觀規(guī)律。

很多人太急于看到成果,一旦聽到“造不出”的說法,就會情緒激動,要么否定一切,要么盲目樂觀,卻忽略了技術(shù)發(fā)展的客觀規(guī)律。



光刻機的研發(fā),不是一朝一夕的事,ASML從研發(fā)EUV原型機到實現(xiàn)商用,花了17年時間,投入了巨額資金。

中國從2010年代末才開始全力推進(jìn)自研,目前能造出28納米的光刻機,已經(jīng)是很大的進(jìn)步,想要追上ASML的水平,還需要幾代人的努力。



而且美國一直在對中國進(jìn)行技術(shù)封鎖,2023年更是把管制擴(kuò)展到了28納米的DUV光刻機,荷蘭也跟著限制出口,這讓中國的研發(fā)之路更加艱難。

在這種情況下,中國只能走自主研發(fā)的道路,一步步搭建本土供應(yīng)鏈,從基礎(chǔ)部件做起,慢慢積累技術(shù)經(jīng)驗。



現(xiàn)在網(wǎng)上還有人爭論,朱士堯的話是不是太絕對了,其實他的話,本質(zhì)上是在強調(diào)全球協(xié)作的重要性,以及光刻機研發(fā)的難度。

他說“美國造不出,中國永遠(yuǎn)都不可能”,這里的“造不出”,指的是脫離全球協(xié)作體系,單獨造出最先進(jìn)的EUV光刻機,而不是說永遠(yuǎn)造不出任何光刻機。



隨著中國在各個領(lǐng)域的突破,本土供應(yīng)鏈越來越完善,上海微電子的技術(shù)也在不斷進(jìn)步,未來未必不能造出先進(jìn)的光刻機。

只是這個過程會很漫長,可能需要十幾年甚至幾十年,不能急于求成,更不能盲目否定自己的努力。



總結(jié)下來,事情的經(jīng)過就是這樣:朱士堯在2021年的采訪中,針對光刻機的全球協(xié)作特性,說出了那句引發(fā)爭議的話。

這句話被誤讀多年,直到后來中國光刻機的進(jìn)展逐步曝光,人們才明白他的真實意思,不是否定中國,而是提醒大家尊重技術(shù)規(guī)律。



中國目前能造出中低端光刻機,滿足部分市場需求,在核心部件上也有突破,但離最先進(jìn)的水平還有差距。

美國雖然技術(shù)先進(jìn),也沒法單獨造出最先進(jìn)的光刻機,光刻機的研發(fā)需要全球協(xié)作,中國的追趕之路雖然艱難,但一直在穩(wěn)步前進(jìn),不是永遠(yuǎn)都不可能造出先進(jìn)光刻機。



現(xiàn)在,上海微電子還在推進(jìn)更先進(jìn)的光刻機研發(fā),本土配套企業(yè)也在不斷突破,相信只要堅持下去,總有一天,中國能在光刻機領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)突破,打破國外的壟斷。

而朱士堯的那句話,也會成為一個提醒,讓我們在追趕技術(shù)的路上,保持清醒,腳踏實地,不驕不躁,一步一個腳印地往前走。



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