2023年那會(huì)兒，光刻機(jī)這件事真讓人憋屈。美國(guó)一紙禁令下來(lái)，ASML的EUV光刻機(jī)整機(jī)對(duì)中國(guó)出口全面封死。荷蘭工廠倉(cāng)庫(kù)里，打包好的設(shè)備愣是沒(méi)法發(fā)貨，中國(guó)企業(yè)簽好的訂單說(shuō)廢就廢。華盛頓那邊態(tài)度很明確：掐死光刻機(jī)這根管子，中國(guó)想在先進(jìn)芯片上往前走一步，門(mén)都沒(méi)有。

全球輿論當(dāng)時(shí)幾乎站成一排——這下中國(guó)芯片真的要歇菜了吧？ASML的CEO克里斯托夫·富凱甚至公開(kāi)放話，說(shuō)因?yàn)槊绹?guó)禁售EUV光刻設(shè)備，中國(guó)芯片技術(shù)將落后西方十年到十五年。

可后來(lái)發(fā)生的事，打了太多人的臉。2025年3月27日，清華大學(xué)中國(guó)經(jīng)濟(jì)思想與實(shí)踐研究院院長(zhǎng)李稻葵，受邀出席中國(guó)公共外交協(xié)會(huì)在北京舉辦的＂臨甲7號(hào)沙龍＂交流會(huì)。五十多家中外媒體記者在場(chǎng)，他說(shuō)了一句后來(lái)傳遍全網(wǎng)的話——＂這些限制不可能阻擋中國(guó)科技進(jìn)步，反而可能會(huì)促進(jìn)。＂緊接著他又補(bǔ)了一句更狠的：＂等我們搞出來(lái)了，你想賣(mài)我也不要了。＂

林楠從前是荷蘭ASML公司的研發(fā)科學(xué)家，在ASML干了多年，連續(xù)六年拿過(guò)ASML專利獎(jiǎng)，對(duì)EUV光源技術(shù)門(mén)兒清。2021年，他作為海外高層次人才回國(guó)，落腳中國(guó)科學(xué)院上海光機(jī)所，成立先進(jìn)光刻技術(shù)研究組，開(kāi)始啃最硬的一塊骨頭——EUV光源。

EUV光源有多重要？過(guò)去全世界的EUV光刻機(jī)光源，幾乎全靠美國(guó)Cymer公司壟斷。它用的是CO?激光系統(tǒng)，價(jià)格貴得離譜，交貨周期動(dòng)不動(dòng)一年以上，而且已經(jīng)被美國(guó)列入＂不可出口＂類(lèi)別。

買(mǎi)不到，就只能自己造。林楠團(tuán)隊(duì)走了一條全新的路——放棄CO?激光，改用1μm固體脈沖激光器驅(qū)動(dòng)。2025年4月29日，上海光機(jī)所宣布完成國(guó)產(chǎn)EUV光源關(guān)鍵突破，轉(zhuǎn)換效率（CE）最高達(dá)到3.42%，超過(guò)了荷蘭與瑞士研究團(tuán)隊(duì)的水平。

雖然距離商用標(biāo)準(zhǔn)5.5%還有距離，但團(tuán)隊(duì)預(yù)估理論最大轉(zhuǎn)換效率可能接近6%。這意味著，核心光源這一關(guān)，我們不再被人拿捏了。從0到1，這一步邁出去，后面的路就活了。

2025年8月，杭州城西科創(chuàng)大走廊，浙江大學(xué)成果轉(zhuǎn)化基地里，全國(guó)首臺(tái)國(guó)產(chǎn)商業(yè)電子束光刻機(jī)＂羲之＂正式亮相，進(jìn)入客戶應(yīng)用測(cè)試。精度0.6納米，線寬8納米，不需要掩膜版，電子束直接在硅片上＂手寫(xiě)＂電路。名字取得講究——王羲之用毛筆寫(xiě)字，＂羲之＂用電子束寫(xiě)芯片。

這臺(tái)設(shè)備由浙大余杭量子研究院自主研發(fā)，專門(mén)服務(wù)量子芯片與新型半導(dǎo)體研發(fā)。以前這類(lèi)設(shè)備受出口管制，國(guó)內(nèi)頂尖機(jī)構(gòu)想買(mǎi)都買(mǎi)不到，只能干瞪眼。＂羲之＂的出現(xiàn)，直接補(bǔ)上了這個(gè)缺口。

當(dāng)然得實(shí)話實(shí)說(shuō)。電子束光刻機(jī)跟EUV比起來(lái)，速度差太遠(yuǎn)——光學(xué)光刻機(jī)一小時(shí)處理幾十片甚至上百片晶圓，電子束光刻的效率差了將近三個(gè)數(shù)量級(jí)。它不是EUV的替代品，更適合做研發(fā)階段的原型驗(yàn)證與小批量調(diào)試。但問(wèn)題是，以前連做研發(fā)都沒(méi)趁手工具，現(xiàn)在終于有了自己的家伙事兒。

2025年8月初，璞璘科技成功交付中國(guó)首臺(tái)半導(dǎo)體級(jí)步進(jìn)式納米壓印光刻系統(tǒng)，支持線寬小于10nm。這東西的原理跟蓋章差不多——把圖案直接壓到晶圓上，不用復(fù)雜光源，成本低，能耗也低。在線寬指標(biāo)上，已經(jīng)超過(guò)了日本佳能同類(lèi)設(shè)備14nm的水平。

雖然納米壓印在量產(chǎn)速度上還比不過(guò)光刻技術(shù)，但在存儲(chǔ)芯片以及先進(jìn)封裝領(lǐng)域，它已經(jīng)具備了實(shí)打?qū)嵉膽?yīng)用潛力。

三條技術(shù)路線，三個(gè)方向同時(shí)發(fā)力。上海攻光源，杭州搞電子束，璞璘做納米壓印。沒(méi)有人傻乎乎地去照搬ASML的路線，而是各找各的突破口。

那美國(guó)這邊呢？2024年11月應(yīng)用材料公司公布了第四財(cái)季財(cái)報(bào)。數(shù)據(jù)很有意思——來(lái)自中國(guó)大陸的銷(xiāo)售額同比下降28%至21.4億美元，占總營(yíng)收比例從44%掉到30%。不是他們產(chǎn)品賣(mài)不動(dòng)了，是自己把市場(chǎng)讓出去了。

到了2025年第三財(cái)季，中國(guó)區(qū)營(yíng)收占比回到35%，但公司內(nèi)部預(yù)計(jì)，中國(guó)業(yè)務(wù)的下降趨勢(shì)還會(huì)持續(xù)好幾個(gè)季度。

ASML那邊的數(shù)據(jù)也挺微妙。2024年，ASML向中國(guó)大陸交付了大約150臺(tái)光刻機(jī)，中國(guó)大陸的銷(xiāo)售額占ASML整體比重升到46%。但這些全是DUV設(shè)備——EUV已經(jīng)一臺(tái)都賣(mài)不了了。等到國(guó)產(chǎn)DUV逐步成熟，連這塊蛋糕也未必保得住。

2025年5月16日，新華社發(fā)了一篇評(píng)論，標(biāo)題直截了當(dāng)——＂美國(guó)低估了中國(guó)，高估了自己。＂文章說(shuō)得很清楚：用非市場(chǎng)手段切斷合作，結(jié)果是供應(yīng)鏈混亂、標(biāo)準(zhǔn)割裂、企業(yè)失去全周期客戶。美國(guó)想用＂斷供＂來(lái)掐住中國(guó)，卻沒(méi)想到，斷供本身反而成了最大的催化劑。

李稻葵還說(shuō)過(guò)一句話，我覺(jué)得特別到位：＂以前用別人的，就不想做自己的；現(xiàn)在不能用了，反而逼出真正的動(dòng)力。＂這話可能放在兩年前說(shuō)，很多人會(huì)覺(jué)得是嘴硬。但放在今天，上海光機(jī)所的EUV光源數(shù)據(jù)擺在那里，＂羲之＂的測(cè)試報(bào)告擺在那里，璞璘科技的交付記錄擺在那里——每一項(xiàng)都是白紙黑字，不是口號(hào)。

半導(dǎo)體這場(chǎng)仗遠(yuǎn)沒(méi)有打完。EUV整機(jī)量產(chǎn)還有很長(zhǎng)的路要走，產(chǎn)業(yè)鏈上的短板也不可能一夜之間全部補(bǔ)齊。誰(shuí)要是跟你說(shuō)中國(guó)光刻機(jī)已經(jīng)全面趕超，那是吹牛。但方向已經(jīng)不可逆了——當(dāng)買(mǎi)家被逼成制造商，賣(mài)家的日子就不好過(guò)了。

ASML的CFO也承認(rèn)，中國(guó)確實(shí)有可能造出EUV光源。他說(shuō)的是＂還需要很多年＂，可＂很多年＂這個(gè)詞在2023年說(shuō)出來(lái)，大家默認(rèn)是十年。兩年過(guò)去，階段性成果一個(gè)接一個(gè)地冒頭，誰(shuí)還敢拍胸脯說(shuō)剩下的時(shí)間一定夠用？市場(chǎng)從來(lái)不講感情。