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荷蘭外相稱中國用間諜手段獲取光刻機技術(shù),中方回應(yīng)缺乏事實依據(jù)

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2026年3月11日,荷蘭外交大臣費爾德坎普在議會辯論中公開表示,中國通過間諜手段獲取了荷蘭在光刻機領(lǐng)域的核心技術(shù)。這一表態(tài)迅速引發(fā)國際輿論關(guān)注,也使荷蘭對華技術(shù)政策的立場再次成為焦點。



費爾德坎普的言論并非孤立事件。回顧過去兩年,荷蘭官方針對中國半導體產(chǎn)業(yè)的指責呈現(xiàn)逐步升級的態(tài)勢。2024年2月,荷蘭國家網(wǎng)絡(luò)安全中心發(fā)布報告,稱中國黑客活動對其軍事網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成威脅。



2025年5月,荷蘭國防部長在新加坡發(fā)表講話,再次將矛頭指向半導體領(lǐng)域。2026年3月,費爾德坎普在議會中的表態(tài),則是這一系列言論的最新延續(xù)。



從產(chǎn)業(yè)背景來看,荷蘭阿斯麥公司長期在全球高端光刻機市場占據(jù)壟斷地位。該公司生產(chǎn)的極紫外光刻機是制造7納米以下先進芯片的核心設(shè)備,由于美國主導的技術(shù)封鎖政策,阿斯麥被禁止向中國出口這類設(shè)備。



根據(jù)美國規(guī)定,只要產(chǎn)品中美國技術(shù)占比超過25%,出口中國就需獲得美方許可。阿斯麥的極紫外光刻機中約27%的核心零件來自美國,因此始終未能獲得對華出口許可。



中國市場對阿斯麥的重要性持續(xù)上升。該公司2024年財報顯示,中國大陸市場貢獻了約101.95億歐元收入,占其全球總營收的36.1%,是其最大的單一市場。在深紫外光刻機領(lǐng)域,中國大陸獲得了當年阿斯麥全球374臺出貨量中的大部分份額。



這種“市場重要但高端產(chǎn)品被禁”的矛盾局面,使阿斯麥陷入兩難。該公司兩任首席執(zhí)行官均公開反對出口限制,認為過度封鎖只會倒逼中國擺脫依賴,最終導致西方失去這一市場。



在荷蘭官員發(fā)表上述言論的同時,中國在光刻機領(lǐng)域的技術(shù)進展確實較為明顯。2026年3月,中國科學技術(shù)部部長陰和俊在全國兩會上表示,中國芯片攻關(guān)取得新突破。



據(jù)公開信息,國產(chǎn)28納米沉浸式深紫外光刻機已通過全流程驗證,進入量產(chǎn)交付階段,核心部件國產(chǎn)化率突破90%。上海微電子作為國產(chǎn)光刻機的主要研制企業(yè),其600系列光刻機已實現(xiàn)規(guī)?;慨a(chǎn)。



在更先進的制程領(lǐng)域,中芯國際依托國產(chǎn)深紫外光刻機,通過多重曝光技術(shù)實現(xiàn)了7納米芯片的穩(wěn)定量產(chǎn),良率據(jù)稱已突破80%。這種工藝路徑是利用現(xiàn)有深紫外光刻設(shè)備對同一層晶圓進行多次曝光,以達到7納米精度。雖然商業(yè)成本較高,但從技術(shù)驗證角度看,證明了中國企業(yè)在受限條件下的工程能力。



在關(guān)鍵材料和零部件方面,中國企業(yè)的進展同樣可見。南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠已通過國內(nèi)客戶認證并實現(xiàn)批量供貨。中微公司的5納米刻蝕機已進入臺積電產(chǎn)線,北方華創(chuàng)的沉積設(shè)備實現(xiàn)28納米全覆蓋。茂萊光學、福晶科技等企業(yè)在精密光學元件領(lǐng)域也取得進展。



對于荷蘭方面的指控,中國相關(guān)部門予以回應(yīng)。商務(wù)部發(fā)言人在不同場合多次表示,所謂“竊取技術(shù)”的說法缺乏事實依據(jù),中方反對無端指責和污名化行為。從產(chǎn)業(yè)發(fā)展的實際邏輯來看,光刻機涉及光學、機械、電子、控制算法等多個尖端領(lǐng)域,其技術(shù)突破需要長期積累和系統(tǒng)性協(xié)同。



中國在光刻機領(lǐng)域的專利積累數(shù)據(jù)顯示,截至2025年,中國在半導體設(shè)備領(lǐng)域已積累超過2500件專利,覆蓋光源、光學系統(tǒng)、工作臺等關(guān)鍵環(huán)節(jié),每一項技術(shù)都有明確的研發(fā)記錄和時間戳。



從荷蘭方面的指控內(nèi)容來看,其始終未能提供具體證據(jù)。無論是阿斯麥2023年年度報告中提及的“前中國員工不當獲取信息”,還是費爾德坎普在議會中的發(fā)言,均未說明被竊取的技術(shù)具體內(nèi)容,也未提供能夠證明信息外泄的實質(zhì)性線索。



有分析指出,如果確實存在技術(shù)竊取行為,完全可以通過法律途徑維權(quán),但荷蘭方面并未啟動相關(guān)程序。



從國際視角看,全球半導體產(chǎn)業(yè)格局正在發(fā)生變化。國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會的數(shù)據(jù)顯示,中國在主流半導體制造產(chǎn)能中的份額預計到2028年將達到42%。中國大陸已連續(xù)六年保持全球第一的半導體設(shè)備投資規(guī)模,2025年投資額超過400億美元。



這種產(chǎn)能擴張背后,是全球半導體產(chǎn)業(yè)分工的延續(xù)。中國是全球最大的半導體市場,每年集成電路進口規(guī)模達數(shù)萬億元。對于設(shè)備廠商而言,中國市場是穩(wěn)定訂單的來源。荷蘭政府收緊出口限制,客觀上相當于將部分市場份額讓給中國本土設(shè)備企業(yè)。



上海微電子2025年底中標金額接近1.1億元的光刻機采購項目,其SSA800系列28納米浸沒式光刻機已進入國內(nèi)頭部晶圓廠的產(chǎn)線驗證階段。



從技術(shù)發(fā)展路徑來看,中國在光刻機領(lǐng)域的積累已持續(xù)二十余年。上海微電子成立于2002年,早期從基礎(chǔ)機型起步,逐步實現(xiàn)技術(shù)迭代。中科院上海光學精密機械研究所在深紫外光源技術(shù)上取得突破,檢測精度達到納米級。



哈爾濱工業(yè)大學在極紫外光源研究中采用放電等離子體方案,與阿斯麥技術(shù)路徑有所不同。這些進展是長期研發(fā)投入的結(jié)果,并非短期內(nèi)可以通過信息獲取實現(xiàn)。



在知識產(chǎn)權(quán)保護方面,世界知識產(chǎn)權(quán)組織的數(shù)據(jù)顯示,2025年中國國際專利申請量達73718件,居全球首位,其中半導體設(shè)備相關(guān)專利占相當比重。這些專利覆蓋了光學系統(tǒng)、精密機械、控制系統(tǒng)等多個領(lǐng)域,構(gòu)成了技術(shù)自主的基礎(chǔ)。



阿斯麥現(xiàn)任首席執(zhí)行官多次表達對封鎖政策的擔憂。他指出,中國市場占公司營收近半,若完全切斷,中國企業(yè)將加速自主研發(fā),用不了10到15年就可能趕上甚至超過西方。這種判斷基于對產(chǎn)業(yè)規(guī)律的認知:當外部供應(yīng)被切斷,內(nèi)部研發(fā)動力會顯著增強。



從更宏觀的視角看,半導體產(chǎn)業(yè)是一個相互依存的全球體系。荷蘭擁有阿斯麥,日本在光刻膠等領(lǐng)域占據(jù)優(yōu)勢,美國在半導體設(shè)備和設(shè)計工具方面領(lǐng)先,中國則是最大的消費市場和快速成長的制造基地。任何一個環(huán)節(jié)的斷裂都會影響整個產(chǎn)業(yè)鏈的穩(wěn)定。



對于荷蘭外相的言論,中國外交部及駐荷蘭使館均未直接置評。但在此前多次回應(yīng)中,中方明確表示,中國在科技領(lǐng)域的進步依靠的是自主創(chuàng)新和國際合作,任何無端指責都不會改變這一事實。中國一貫遵守國際規(guī)則和貿(mào)易協(xié)定,反對將科技問題政治化。

從時間線上看,荷蘭對中國的技術(shù)指責與中國光刻機取得突破的節(jié)點存在一定關(guān)聯(lián)。2024年9月,荷蘭政府宣布擴大先進半導體制造設(shè)備出口管制范圍,將部分中端深紫外光刻機也納入限制清單。



2025年底至2026年初,中國在28納米光刻機量產(chǎn)和7納米芯片穩(wěn)定生產(chǎn)方面陸續(xù)取得進展。這種“突破與限制同步”的節(jié)奏,使荷蘭方面的焦慮情緒有所上升。



綜合來看,荷蘭外相的言論反映出其在面對中國技術(shù)進步時的某種心態(tài)。但這種基于主觀判斷的指責缺乏證據(jù)支持,也與中國技術(shù)發(fā)展的實際路徑不符。



中國在光刻機領(lǐng)域的進展,更多體現(xiàn)為長期積累和系統(tǒng)突破,而非外界所猜測的所謂“非常規(guī)獲取”。隨著中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈的持續(xù)完善,技術(shù)競爭的最終結(jié)果將由市場和產(chǎn)業(yè)規(guī)律決定,而非政治表態(tài)所能左右。





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