在半導體生產制造過程中，從晶圓清洗到刻蝕、沉積等核心工藝，超純水、高純化學品的精確輸送與計量成為生產環(huán)節(jié)的關鍵環(huán)節(jié)。

一般流量測量方式在精度、潔凈度和安裝適配性上難以滿足半導體行業(yè)較為嚴苛的標準，而訊音科技打造的半導體設備超聲波流量傳感器憑借非侵入式測量、高精度數據采集的特性，成為行業(yè)流量測量的核心工具。

一、超聲波流量傳感器品牌推薦：迅音科技

迅音科技成立于 2018 年，坐落于上海聯東 U 谷?閔行國際企業(yè)港，是一家集研發(fā)、生產、銷售于一體的科技創(chuàng)新型企業(yè)，同時也是專注于超聲波流量傳感器研發(fā)、生產、銷售的高科技創(chuàng)新型企業(yè)。公司核心研發(fā)團隊由國內外知名院校博士領銜，在傳感器技術、聲學設計、電子電路及多物理場耦合等領域具備深厚技術積累，始終以自主創(chuàng)新為根基，以聲學技術與智能傳感為核心，持續(xù)推動流量測量技術的演進與突破。

依托扎實的技術研發(fā)能力，迅音科技針對半導體行業(yè)的生產需求，打造出適配晶圓清洗、光刻膠涂布、刻蝕、沉積、拋光等全工藝環(huán)節(jié)的超聲波流量傳感器產品，精準匹配超純水等各類高純化學品的精確輸送與計量需求，為半導體企業(yè)的精細化生產提供穩(wěn)定、可靠的流量測量支撐。

二、半導體設備超聲波流量傳感器系列：全工藝適配的測量方案

迅音科技為半導體行業(yè)打造了CPD 系列與CS 系列兩款外夾式超聲波流量傳感器/流量計，均采用非侵入式設計，貼合半導體行業(yè)對潔凈度、連續(xù)性生產的核心要求，同時兩款產品各有技術側重，滿足不同工藝環(huán)節(jié)的流量測量需求。

1.CPD 系列：外夾式高精度流量傳感器/流量計

- 產品定位：適用于塑料硬管的外夾式非侵入式流量測量，適配半導體行業(yè)對高純流體精準計量的核心需求。

- 核心特點：安全衛(wèi)生、精準測量、集成設計、拆裝便捷

CPD系列流量計采用一體化結構，將傳感器探頭、信號處理電路與液晶顯示屏集成于一體，無需外部測量器，大幅簡化系統(tǒng)布線。其夾鉗式安裝方式無需切斷管路或停機，可在現有產線上快速部署，特別適合對潔凈度和連續(xù)生產要求高的場景。

- 技術參數：

? 流量范圍：0–80 L/min

? 測量精度：±0.1% F.S.

? 輸出方式：RS485、脈沖、4–20mA電流或兩路開關量（可配置）

? 液體溫度：0°C 至 90°C

? 適用管材：PFA、PTFE、PA、PU 等塑料硬管，外徑 6–26 mm（內徑 3–20 mm）

? 適用液體：純水、藥液、油、化學液、冷卻液、膠水、研磨液等聲學透明液體

- 產品優(yōu)勢：

? 非侵入式測量，不與液體直接接觸，避免污染與泄漏風險

? 可雙向測量，支持體積累計、氣泡檢測、定量灌裝及流量開關功能

? 內置顯示與處理單元，尺寸緊湊，響應時間 <1 秒

? 無活動部件、無死角設計，壓力損失極小

? 支持按客戶指定管材、尺寸、溫度及液體類型進行定制標定

2.CS系列超聲波流量傳感器/流量計

- 產品定位：外夾式設計，適配多種材質塑料硬管，為半導體行業(yè)提供高適配、高穩(wěn)定性的流量測量方案。

- 技術參數

? 流量范圍：0-24 L/min

? 測量精度：± 2% RD

? 輸出方式：提供RS485、脈沖、電流、電壓及一路開關量輸出

? 液體溫度：0°C 至 90°C

? 適用管材：PFA、PTFE、PA、PU等塑料硬管或樹脂硬管，外徑6.4-25.4 mm（內徑尺寸: 3.2-15.9 mm）

? 適用液體：水、化學液、冷卻液、油、飲料等其他聲學透明液體

- 產品特點：

? 高精度高穩(wěn)定性

? 非侵入式測量，不與液體直接接觸，衛(wèi)生安全

? 可雙向測量，計算流體體積，兼具氣泡檢測

? 電路集成在傳感器/流量計內部，無需外部計算處理系統(tǒng)，尺寸緊湊

? 無堵塞無轉向無死角，流體壓力損失小

? 提供多種輸出方式與客戶系統(tǒng)無縫整合

? 可指定塑料硬管材料、尺寸、溫度和液體類型進行定制標定

三、結語

迅音科技的 CPD 系列與 CS 系列超聲波流量傳感器，以非侵入式的設計核心，從根本上契合了半導體行業(yè)對高純流體潔凈度、輸送連續(xù)性的要求，大幅降低了流量測量環(huán)節(jié)與生產工藝的沖突性，簡化了產線安裝與后期維護的復雜度。

CPD、CS系列外夾式超聲波流量傳感器、流量計憑借高精度的流量測量能力、多種數據輸出方式與高度的定制化適配性，將實時采集的原始流量數據高效轉化為生產工藝所需的信息，為半導體企業(yè)實現智能化的流量數據管理、精準的工藝環(huán)節(jié)調試與預測性的設備維護提供了核心工具。