2024年9月，中科大前副院長(zhǎng)朱士堯的一句話直接炸了全網(wǎng)——“美國(guó)造不出，中國(guó)永遠(yuǎn)都不可能”。當(dāng)時(shí)中美半導(dǎo)體博弈正熱，美國(guó)封鎖先進(jìn)光刻機(jī)、卡中國(guó)芯片脖子，全國(guó)上下都盼著國(guó)產(chǎn)突破，這話一出來(lái)，評(píng)論區(qū)瞬間吵翻：有人罵他“唱衰中國(guó)”，有人說(shuō)他“老糊涂了”?？蛇@位在科技圈摸爬滾打幾十年、退休還被華為返聘十年的老專家，為啥突然說(shuō)這話？

朱士堯1944年生在上海嘉定，1963年考進(jìn)中科大核反應(yīng)堆工程專業(yè)，畢業(yè)后就在中科大教書(shū)搞研究，后來(lái)還當(dāng)了研究生院副院長(zhǎng)。61歲退休后被華為拉回去，一干就是十年，直到2014年底才真正歇下來(lái)。他這輩子親眼見(jiàn)中國(guó)科技從落后到追趕，早年被卡脖子的滋味比誰(shuí)都清楚；在華為那十年，更是看著華為做大，也看著它被美國(guó)制裁斷供的難。

說(shuō)白了，光刻機(jī)就是造芯片的核心家伙，手機(jī)、電腦、汽車?yán)锏男酒?，尤其是高端的，離了它根本玩不轉(zhuǎn)?，F(xiàn)在全世界最牛的光刻機(jī)，是荷蘭阿斯麥做的，高端機(jī)型基本被它壟斷，一臺(tái)賣幾十億，排隊(duì)好幾年還不一定能拿到貨。

有人就問(wèn)了，美國(guó)科技那么牛，咋造不出光刻機(jī)？朱士堯說(shuō)的“美國(guó)造不出”真不是瞎話——光刻機(jī)就像個(gè)巨型拼圖，得幾十個(gè)國(guó)家湊零件才能拼起來(lái)，單靠一個(gè)國(guó)家根本搞不定。你看阿斯麥的高端光刻機(jī)，自己只做不到10%的核心技術(shù)，剩下90%的零件得靠全球5000多家供應(yīng)商。比如核心光源最早是美國(guó)公司的，但主脈沖激光得靠德國(guó)一家公司；光學(xué)鏡子平整度誤差不能超0.1納米，全世界只有德國(guó)蔡司能造；光刻膠這種超高純材料，主要靠日本產(chǎn)，美國(guó)自己也得買(mǎi)。

早年美國(guó)也有光刻機(jī)公司，曾經(jīng)挺厲害的，后來(lái)被日本公司擠壓，加上研發(fā)成本太高，要么破產(chǎn)要么賣了業(yè)務(wù)，現(xiàn)在美國(guó)本土根本沒(méi)有能造完整光刻機(jī)的企業(yè)。它能設(shè)計(jì)高端芯片，但要生產(chǎn)還得從荷蘭買(mǎi)阿斯麥的機(jī)器——說(shuō)白了，不是美國(guó)技術(shù)不行，是單獨(dú)搞不定。

懂了這點(diǎn)，就明白朱士堯后半句的意思了：連美國(guó)這么牛的國(guó)家，都做不到單獨(dú)造光刻機(jī)，中國(guó)科技基礎(chǔ)不如美國(guó)，單獨(dú)搞當(dāng)然更難，尤其是最頂尖的那種。造光刻機(jī)不光要全球合作，研發(fā)成本高得嚇人，還得幾十年技術(shù)積累，不是砸錢(qián)就能追上的。阿斯麥搞高端光刻機(jī)花了20多年、幾百億歐元，找了幾千個(gè)工程師，還得靠各國(guó)供應(yīng)商幫忙，少了合作根本沒(méi)戲。

中國(guó)在光刻機(jī)領(lǐng)域起步很晚，上世紀(jì)90年代造芯片的光刻機(jī)全靠進(jìn)口，自己沒(méi)啥研發(fā)能力。直到2002年上海微電子成立，才真正開(kāi)始琢磨這事，那時(shí)候?qū)嶒?yàn)室條件一般，工程師們天天泡車間調(diào)試，踩了不少坑。

2019年起，美國(guó)施壓荷蘭不讓賣高端光刻機(jī)給中國(guó)，還聯(lián)合其他國(guó)家封鎖技術(shù)、斷供核心零件。中國(guó)也加大投入，清華搞專項(xiàng)實(shí)驗(yàn)室研發(fā)光刻機(jī)材料，上海微電子慢慢突破，造出了自己的光刻機(jī)?，F(xiàn)在能造分辨率65納米以上的機(jī)型，夠汽車電子、消費(fèi)電子的中端芯片用，本土專利超過(guò)500項(xiàng)，各個(gè)環(huán)節(jié)都有進(jìn)步。

光刻機(jī)國(guó)產(chǎn)化率從2022年的40%漲到2024年的65%，鏡片、掩膜板這些關(guān)鍵零件也優(yōu)化了，不用全靠進(jìn)口。上海微電子還擴(kuò)產(chǎn)能、加快迭代，這些都是實(shí)打?qū)嵉倪M(jìn)步。但差距還是大：咱們的套刻精度約1.5納米，阿斯麥能控制在1納米以內(nèi)，這點(diǎn)差距就影響高端芯片的產(chǎn)量和效率；而且中低端光刻機(jī)的核心零件和材料，比如高端光刻膠，還得從日本買(mǎi)。

網(wǎng)上罵朱士堯的人，其實(shí)都誤解他了。他不是不愛(ài)國(guó)，一輩子都在為中國(guó)科技出力，退休了還盯著進(jìn)展。他就是太懂行，清楚其中的難度，不想讓大家盲目樂(lè)觀——造光刻機(jī)不能急功近利，更不能指望單打獨(dú)斗追上荷蘭、美國(guó)。

中國(guó)從來(lái)不怕難，越被封鎖越能激發(fā)潛力，越遇問(wèn)題越團(tuán)結(jié)。以前高鐵、航天、5G、新能源，都是從追趕到并跑甚至領(lǐng)跑，光刻機(jī)領(lǐng)域也一樣。只要一步一個(gè)腳印，加強(qiáng)國(guó)際合作，總有一天能造出自己的高端光刻機(jī)，不再被卡脖子。

參考資料：

1. 中國(guó)科學(xué)報(bào)《朱士堯：光刻機(jī)需全球協(xié)作突破》

2. 上海微電子2024年度公開(kāi)報(bào)告

3. 中科大官方訪談資料