前沿導(dǎo)讀

中國(guó)團(tuán)隊(duì)過(guò)去在科技領(lǐng)域展現(xiàn)出了強(qiáng)大的戰(zhàn)斗力，制造出原子彈并成功將其引爆，極大提升了中國(guó)軍事實(shí)力。但是在面對(duì)先進(jìn)光刻機(jī)禁運(yùn)的問(wèn)題時(shí)，出現(xiàn)了前所未有的緊張感。許多人也因此將原子彈與先進(jìn)光刻機(jī)相對(duì)比，提出了一個(gè)熱度很高的問(wèn)題：我們能造出原子彈，為什么造不出一臺(tái)被封鎖的光刻機(jī)？

產(chǎn)業(yè)差別

光刻機(jī)的技術(shù)特征可以總結(jié)為穩(wěn)、準(zhǔn)、快，需要在一片直徑300mm的晶圓上面通過(guò)光刻機(jī)曝光出特定的電路圖案，以此來(lái)形成芯片的初步制造。電路圖案屬于微縮技術(shù)，這需要光刻機(jī)具備極高的精度與分辨率，行業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)話(huà)術(shù)就是其分辨率相當(dāng)于人類(lèi)頭發(fā)直徑的千分之一。

為了保證制造效率，光刻機(jī)的曝光速度也需要達(dá)到一個(gè)極高標(biāo)準(zhǔn)。一塊完整的晶圓，大概需要經(jīng)過(guò)百次左右的曝光步驟，每一次的曝光時(shí)間需要壓縮在1秒或者1秒之內(nèi)。

光刻機(jī)的核心原理看似清晰，但是最為困難的地方在于讓其持續(xù)運(yùn)行。

根據(jù)ASML官方資料顯示，光刻機(jī)每宕機(jī)一分鐘，客戶(hù)所造成的損失將會(huì)達(dá)到幾千歐元。所以ASML為了保證產(chǎn)品的正常運(yùn)行，組建了客戶(hù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)，團(tuán)隊(duì)人數(shù)達(dá)到了萬(wàn)人以上，被分別安排到全球各個(gè)客戶(hù)的所在地。一旦產(chǎn)品出現(xiàn)異常，或者是達(dá)到了保養(yǎng)標(biāo)準(zhǔn)，這些員工便會(huì)在最短時(shí)間內(nèi)完成相應(yīng)的工作。

哪怕光刻機(jī)的造價(jià)再高、技術(shù)水平再?gòu)?qiáng)，也是屬于工業(yè)機(jī)器范疇。工業(yè)機(jī)器需要定時(shí)進(jìn)行保養(yǎng)，以此來(lái)延長(zhǎng)產(chǎn)品的使用壽命。

ASML需要供應(yīng)鏈企業(yè)提供零件組裝產(chǎn)品，供應(yīng)鏈企業(yè)需要ASML的技術(shù)讓零部件組裝起來(lái)持續(xù)運(yùn)行，而最終端的芯片工廠(chǎng)則需要ASML的產(chǎn)品和售后服務(wù)來(lái)持續(xù)制造芯片進(jìn)行盈利，這是一個(gè)完整的產(chǎn)業(yè)生態(tài)鏈，缺少一個(gè)環(huán)節(jié)都不行。

ASML的全球供應(yīng)鏈總共有5150家，參與人員達(dá)到了6萬(wàn)人以上，ASML在其中充當(dāng)一個(gè)平臺(tái)角色，管理著整個(gè)供應(yīng)鏈體系。

為了制造EUV光刻機(jī)，ASML推出了一種全新的合作模式，允許感興趣的客戶(hù)對(duì)自身進(jìn)行持股，成為ASML的股東，形成利益共同體。這直接吸引了英特爾、三星、臺(tái)積電等企業(yè)入股。一旦ASML失敗，這三家將會(huì)受到直接的經(jīng)濟(jì)沖擊。一旦ASML成功，這三家將會(huì)成為芯片制造業(yè)最前端的龍頭。

這種合作模式的風(fēng)險(xiǎn)極大，考慮到實(shí)際的利益沖突和獨(dú)立性因素，幾乎無(wú)人敢效仿這種模式。

光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)說(shuō)到底還是商業(yè)性的技術(shù)，而原子彈是具備戰(zhàn)略性的技術(shù)，其代表的是整個(gè)國(guó)家的軍事力量，核心理念是對(duì)海外國(guó)家形成力量震懾。畢竟核武器的殺傷力實(shí)在太大，沒(méi)有人真的想要?jiǎng)佑煤宋淦鬟M(jìn)行技術(shù)比拼。

市場(chǎng)驅(qū)動(dòng)

原子彈的研發(fā)單純就是一場(chǎng)從A點(diǎn)到B點(diǎn)的全力沖刺，不需要考慮成本、不需要考慮市場(chǎng)，只需要考慮如何完成目標(biāo)。

中國(guó)研發(fā)原子彈的經(jīng)歷就仿佛一場(chǎng)密室游戲，密室的出口和入口都是真實(shí)存在的，也是確定的，但是中途的路徑不確定，而且還會(huì)出現(xiàn)許多不確定因素。曾經(jīng)參與過(guò)游戲，并且已經(jīng)通關(guān)的選手，例如美國(guó)、前蘇聯(lián)、英國(guó)、法國(guó)，它們知道如何順利走出密室，但它們不會(huì)對(duì)已經(jīng)進(jìn)入密室的中國(guó)團(tuán)隊(duì)提供任何意見(jiàn)，只能靠中國(guó)團(tuán)隊(duì)自己摸索。

制造光刻機(jī)就如同編寫(xiě)一部涵蓋范圍廣闊的百科全書(shū)，不同領(lǐng)域的參與者需要將自己知道的技術(shù)方法提供出來(lái)，然后彼此之間相互討論，整合研究成果。在確定所有內(nèi)容完整無(wú)誤之后，最后一步就是將整部作品推向市場(chǎng)。

光刻機(jī)是市場(chǎng)驅(qū)動(dòng)的科技產(chǎn)品，需要考慮市場(chǎng)環(huán)境、技術(shù)專(zhuān)利、供應(yīng)鏈體系、未來(lái)的發(fā)展趨勢(shì)等多個(gè)因素，無(wú)法在短時(shí)間內(nèi)完成技術(shù)攻關(guān)。

而原子彈屬于舉國(guó)體制的典型產(chǎn)業(yè)，為攻克原子彈，我國(guó)先后有900多家機(jī)構(gòu)參與，光是實(shí)驗(yàn)材料的數(shù)量就達(dá)到了5600種以上。

這種舉國(guó)體制并不適用于現(xiàn)階段的先進(jìn)光刻機(jī)，先進(jìn)光刻機(jī)包含的零部件達(dá)到幾十萬(wàn)個(gè)，涉及全球供應(yīng)鏈，整合零部件的過(guò)程是全球技術(shù)合作的體現(xiàn)，各參與方在追求利益的同時(shí)，也承擔(dān)著經(jīng)濟(jì)上的風(fēng)險(xiǎn)。

盡管光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的技術(shù)壁壘較高，而且還面臨著美國(guó)的長(zhǎng)臂管轄，但是中國(guó)企業(yè)已經(jīng)解決了干式DUV光刻機(jī)的自主可控，正在聯(lián)合國(guó)際非美供應(yīng)鏈企業(yè)解決浸潤(rùn)式光刻機(jī)以及EUV光刻機(jī)的問(wèn)題。