半導體設備是芯片產(chǎn)業(yè)的基石，其技術水平直接決定了芯片的性能極限與制造可能性。在當前全球競爭格局下，該領域已成為保障供應鏈安全、掌握技術發(fā)展主動權的戰(zhàn)略制高點。

全球半導體設備市場正經(jīng)歷由人工智能（AI）投資驅(qū)動的強勁增長。根據(jù)國際半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會（SEMI）于2025年12月發(fā)布的最新預測，2025年全球半導體設備銷售額預計將同比增長13.7%，達到1330億美元的歷史新高，并有望在2027年突破1500億美元大關。其中，晶圓制造設備是最大的組成部分，而滿足AI芯片復雜需求的測試設備和先進封裝設備增長尤為迅猛。

中國已成為全球半導體設備市場的核心驅(qū)動力。SEMI報告顯示，2025年第二季度，中國大陸半導體設備銷售額約占全球市場的34.4%，首次超過全球市場的三分之一，穩(wěn)居全球第一大市場。中商產(chǎn)業(yè)研究院預測，2025年中國半導體設備市場規(guī)模將達2415.3億元，持續(xù)鞏固其全球最大單體市場的地位。

市場的壯大伴隨著國產(chǎn)化率的快速攀升，這成為中國半導體設備行業(yè)最顯著的進展。行業(yè)數(shù)據(jù)顯示，2025年上半年，國內(nèi)半導體設備整體國產(chǎn)化率已從去年同期的約23%提升至35%，并有望在年底達到50%。國產(chǎn)設備在刻蝕、薄膜沉積、清洗等多個關鍵領域均實現(xiàn)了顯著的技術突破與市場化應用。

專利實力是衡量企業(yè)創(chuàng)新能力和構建市場競爭壁壘的關鍵。對企業(yè)而言，進行系統(tǒng)性的專利布局，是保護核心技術、鞏固市場地位的重要戰(zhàn)略，也為投資機構評估企業(yè)技術競爭力提供了直觀的參考維度。愛集微知識產(chǎn)權咨詢對中國大陸半導體設備領域企業(yè)的專利情況進行了全面梳理，權威發(fā)布中國大陸半導體設備領域企業(yè)專利榜單，多維度解讀企業(yè)專利現(xiàn)狀，為公眾和投資機構了解中國大陸半導體設備領域企業(yè)的技術競爭力提供直觀的參考。

下文涉及的專利數(shù)據(jù)統(tǒng)計規(guī)則說明如下：

1、除另有說明外，專利數(shù)據(jù)包括“天眼查“統(tǒng)計的相關企業(yè)“持股比例”或“對外投資比例“50%以上主體的專利數(shù)據(jù)；

2、數(shù)據(jù)統(tǒng)計公開/公告日截至2025年9月30日的專利數(shù)據(jù)，來源IncoPat專利數(shù)據(jù)庫，愛集微知識產(chǎn)權咨詢整理；

3、境外專利包含向世界知識產(chǎn)權組織（WO）提出的專利申請和中國臺灣地區(qū)（TW）專利；

4、各企業(yè)間基于相同的規(guī)則比較，但數(shù)據(jù)庫收錄的數(shù)據(jù)源、檢索方法設定等因素均有可能造成數(shù)據(jù)結(jié)果的偏差，愛集微知識產(chǎn)權咨詢保留最終解釋權。

中國大陸半導體設備企業(yè)——創(chuàng)新實力榜單

愛集微知識產(chǎn)權咨詢從專利布局、有效性、技術、法律和經(jīng)濟等五個維度選取客觀指標，基于合理的權重生成愛集微專利價值度評分，用以量化企業(yè)專利的價值高低。相對于單純以專利數(shù)量排名，愛集微專利價值度提供了更加客觀的專利評估指標。愛集微知識產(chǎn)權咨詢根據(jù)企業(yè)的專利數(shù)量和愛集微專利價值度評分，計算得到各企業(yè)專利創(chuàng)新實力的分值，在此基礎上發(fā)布中國大陸半導體設備企業(yè)創(chuàng)新實力榜單TOP20。

根據(jù)榜單數(shù)據(jù)，半導體設備行業(yè)呈現(xiàn)頭部格局整體穩(wěn)固，中堅力量競爭激烈的格局。其中，北方華創(chuàng)以8,403件的專利總量和5,081分的創(chuàng)新實力分值，實現(xiàn)了對榜單其他企業(yè)的斷層式領先，彰顯了其作為國內(nèi)半導體設備平臺型龍頭在全面技術布局與持續(xù)高強度研發(fā)投入上的絕對實力。

上海微電子（排名第2）、中微公司（排名第3）與中科院光電所（排名第4）構成了實力雄厚的第二梯隊。其中，中微公司的表現(xiàn)尤為值得關注，盡管其專利總量顯著低于中科院光電所，但憑借更高的專利質(zhì)量與價值，創(chuàng)新實力分值實現(xiàn)反超，這反映了其在核心的刻蝕設備領域所構建的高價值專利壁壘。這三家機構在排名上與去年保持一致，說明在光刻、刻蝕等最尖端、最關鍵的設備賽道上，領先者的技術積累和優(yōu)勢地位已非常穩(wěn)固。

第5-15名企業(yè)構成了競爭最為激烈的中堅梯隊，創(chuàng)新實力分值集中在500至1000分區(qū)間，分別為屹唐半導體、盛美半導體、華興源創(chuàng)、拓荊科技、蘇大維格、長川科技、捷佳偉創(chuàng)、中電科第45所、連城數(shù)控、中電科第48所、至純科技，其中盛美半導體、拓荊科技、捷佳偉創(chuàng)相比于去年同期在專利創(chuàng)新實力方面的進步明顯，表明其近年的技術攻關與專利布局策略取得了顯著成效，是梯隊中活躍的上升力量。

排名第16-20位的企業(yè)，依次為賽騰精密、中科飛測、魯汶儀器、華海清科、天準科技，雖然創(chuàng)新實力分值相對較低（500以下），但相對于去年同期專利創(chuàng)新實力均有提升，也均是各自細分領域的技術領先者，其后續(xù)潛力可觀。

中國大陸半導體設備企業(yè)——國際布局榜單

企業(yè)在境外獲得專利保護可為其產(chǎn)品進入境外市場保駕護航，能夠提升產(chǎn)品的市場地位和競爭優(yōu)勢，因此，境外專利布局對企業(yè)參與全球市場競爭與拿到國際市場話語權具有重大意義。愛集微知識產(chǎn)權咨詢針對境外專利布局的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，發(fā)布了中國大陸半導體設備領域企業(yè)國際布局榜單TOP10。

國際布局榜單TOP10中，屹唐半導體表現(xiàn)最為亮眼，其海外專利占比高達81.1%，大幅領先其他企業(yè)，這些境外專利較多來自于其收購的MTI。除屹唐半導體外，中微公司、盛美半導體、北方華創(chuàng)、上海微電子的海外專利布局數(shù)量也顯著高于其他企業(yè)，其中中微公司和盛美半導體的境外布局比例較高，展現(xiàn)出較高的國際化前瞻性。

從海外專利占比數(shù)據(jù)來看，眾硅電子、魯汶儀器、東方晶源、蘇大維格、微導納米等企業(yè)雖然目前海外專利布局數(shù)量相對較少，但海外專利占比均超過15%，盛美半導體更是高達52%，顯示出這些企業(yè)具有較高的全球化視野。值得一提是，蘇大維格、微導納米在今年首次進入TOP10。

中國大陸半導體設備領域企業(yè)——行業(yè)影響榜單

以專利被引用情況作為企業(yè)的技術對行業(yè)技術的貢獻大小的參照。專利被引用的情況包括被其他專利文獻公開引用，或在其他專利的實質(zhì)審查程序中審查員將本專利文獻作為對比文獻在通知書或檢索報告中引用。專利被引用數(shù)量的多少和專利被引用占比的高低可以反映出企業(yè)披露的專利對應的技術方案的研究熱度和業(yè)內(nèi)關注活躍度，側(cè)面反映出企業(yè)專利的技術先進性和對行業(yè)的貢獻程度。愛集微知識產(chǎn)權基于各企業(yè)被引用專利數(shù)量和被引用專利占比的合理權重，生成行業(yè)影響力得分，并發(fā)布中國大陸半導體設備領域企業(yè)專利行業(yè)影響榜單TOP10。

行業(yè)影響榜單TOP10企業(yè)，被引用專利占比均在35%以上。其中，賽騰精密、蘇大維格位居第一和第二，專利被引用數(shù)量分別為662、584件，被引用專利占比為51.4%、48.22%，表明其專利披露的技術內(nèi)容受到業(yè)內(nèi)的廣泛關注。

知常光電科技今年比較亮眼，知常光電科技被引用專利數(shù)量相比去年同期顯著增加，被引用專利占比達到60.28%，為TOP10中最高，今年首次進入前三甲，在一定程度上體現(xiàn)了其專利技術的“精品化”優(yōu)勢。

值得注意的是，新益昌今年首次進入TOP10，反映出行業(yè)對其技術實力和創(chuàng)新能力的認可。

中國大陸半導體設備領域企業(yè)——新銳力量榜單

近些年，隨著國內(nèi)半導體行業(yè)的高速發(fā)展，產(chǎn)業(yè)需求不斷提升，使得半導體設備領域也不斷涌現(xiàn)很多創(chuàng)新實力強勁的科技型企業(yè)，不容小覷。愛集微知識產(chǎn)權咨詢針對成立于近10年內(nèi)的半導體設備企業(yè)，綜合企業(yè)專利年產(chǎn)出量、專利價值度等多維度數(shù)據(jù)，愛集微知識產(chǎn)權咨詢發(fā)布新銳力量榜單TOP10。

從新銳力量榜單可以看出，排名前十的企業(yè)中，成立時間多數(shù)集中在6-7年，專利年產(chǎn)出量之間相對接近，競爭比較激烈。其中，眾硅科技在今年表現(xiàn)突出，成功位居榜首，據(jù)悉，眾硅科技的研發(fā)團隊來自硅谷的半導體設備和工藝專家組成，主要專注于高端化學機械平坦化拋光(CMP)設備的研發(fā)。

此外，榜單中，邦芯半導體僅成立5年，但專利年產(chǎn)出量已達到46件，愛集微價值度也高于其他企業(yè)，體現(xiàn)了不凡的創(chuàng)新實力。晶亦精微、聯(lián)訊儀器整體創(chuàng)新水平和研發(fā)能力也提升明顯，在今年分別位居第二和第四。

中國大陸半導體設備企業(yè)——愛集微星級榜單

最后，愛集微知識產(chǎn)權咨詢針對中國大陸半導體設備企業(yè)，在綜合考慮專利數(shù)量、發(fā)明專利占比、授權專利與有效專利占比、專利海外布局、被引用比例、專利訴訟、專利轉(zhuǎn)讓、專利許可、專利質(zhì)押、專利撰寫水準等指標，進行專利實力星級評價，結(jié)果如下。

本次發(fā)布的榜單針對中國大陸半導體設備企業(yè)，由于企業(yè)的發(fā)展歷史、技術積累、產(chǎn)業(yè)規(guī)模等多方面的因素，目前在分值上具有一定的差異。公眾可通過各個企業(yè)間的數(shù)據(jù)對比，作為企業(yè)的技術創(chuàng)新能力、知識產(chǎn)權的重視程度和投入的參考。

愛集微知識產(chǎn)權咨詢將持續(xù)關注各企業(yè)的專利數(shù)據(jù)更新和專利技術披露，并對榜單進行定期更新，對各個企業(yè)的排名變化進行動態(tài)監(jiān)控，作為企業(yè)的技術進步與發(fā)展的參照。

關于集微知產(chǎn)

“集微知產(chǎn)”由曾在華為、富士康、中芯國際等世界500強企業(yè)工作多年的知識產(chǎn)權專家、律師、專利代理人、商標代理人以及資深專利審查員組成，熟悉中歐美知識產(chǎn)權法律理論和實務。依托愛集微在ICT領域的長期積累，圍繞半導體及其智能應用領域，在高價值專利培育、投融資知識產(chǎn)權盡職調(diào)查、上市知識產(chǎn)權輔導、競爭對手情報策略、專利風險預警和防控、專利價值評估和資產(chǎn)盤點、貫標和專利大賽輔導等業(yè)務上具有突出實力。在全球知識產(chǎn)權申請、挖掘布局、專利分析、訴訟、許可談判、交易、運營、一站式托管服務、專利標準化、專利池建設等方面擁有豐富的經(jīng)驗。我們的愿景是成為“ICT領域卓越的知識產(chǎn)權戰(zhàn)略合作伙伴”。