1、總體布局與功能分區(qū)

1）選址與規(guī)劃

需遠(yuǎn)離交通干道、鐵路等振動(dòng)源，地質(zhì)勘察應(yīng)避開(kāi)軟弱土層，同時(shí)通過(guò)功能分區(qū)隔離振動(dòng)源。將精密生產(chǎn)區(qū)與空調(diào)機(jī)房、物流通道等分離，減少振動(dòng)傳遞。

2）流線控制

遵循“人流物流單向流動(dòng)”原則，人員需經(jīng)“更衣→淋浴→風(fēng)淋（≥30秒）”三級(jí)凈化，物料通過(guò)帶紫外消毒的傳遞窗進(jìn)入，不同潔凈等級(jí)區(qū)域設(shè)置獨(dú)立通道。

3）梯度布局

高潔凈區(qū)（百級(jí)/千級(jí)）置于車間內(nèi)側(cè)，低潔凈區(qū)（萬(wàn)級(jí)/十萬(wàn)級(jí)）靠近外圍，通過(guò)緩沖間維持5Pa壓差梯度，防止交叉污染。

2、潔凈度控制

電子產(chǎn)品的制造要求具有很高的潔凈度，因此潔凈度控制是電子廠房設(shè)計(jì)的重要環(huán)節(jié)。設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝和產(chǎn)品要求，確定合理的潔凈度等級(jí)，并選擇合適的空氣過(guò)濾器。此外，潔凈度的控制還體現(xiàn)在人流、物流的凈化措施上，如設(shè)置風(fēng)淋室、潔凈走廊等。

3、環(huán)境控制核心系統(tǒng)

1）空氣凈化與溫濕度

百級(jí)區(qū)采用垂直/水平層流（風(fēng)速0.3-0.5m/s），萬(wàn)級(jí)區(qū)采用亂流，換氣次數(shù)≥15次/小時(shí)，均需配備HEPA/ULPA高效過(guò)濾器。

溫濕度控制精度需達(dá)22±2℃、45%±5%，既滿足設(shè)備運(yùn)行需求，又通過(guò)濕度調(diào)節(jié)減少靜電產(chǎn)生。

2）微振控制

結(jié)構(gòu)層面采用樁基/筏板基礎(chǔ)、浮筑樓板，必要時(shí)設(shè)置隔振溝；設(shè)備層面選用低振動(dòng)機(jī)型，搭配空氣彈簧隔振器等裝置。

精密設(shè)備（如光刻機(jī)）需遠(yuǎn)離空調(diào)機(jī)組，管道采用柔性連接減少振動(dòng)傳遞。

3）防靜電與接地

地面、工作臺(tái)鋪設(shè)防靜電材料（電阻值10?-101?Ω），人員佩戴防靜電腕帶，設(shè)備接地電阻≤1Ω。

禁止使用化纖制品，通過(guò)濕度維持（45%-60%）抑制靜電積累。

4、配套系統(tǒng)設(shè)計(jì)規(guī)范

1）建筑與材料

墻面用不銹鋼板或環(huán)氧樹(shù)脂涂層，地面做圓弧接縫（R≥50mm），吊頂采用密封式金屬彩鋼板，門窗均需氣密設(shè)計(jì)。

2）氣體與純水供應(yīng)

高純氣體管道采用不銹鋼管，焊接連接避免“盲管”，終端設(shè)高效過(guò)濾器。

純水系統(tǒng)需靠近用水點(diǎn)，管道材質(zhì)與處理工藝匹配水質(zhì)等級(jí)，防止二次污染。

3）消防設(shè)計(jì)

采用無(wú)鹵阻燃材料，潔凈區(qū)優(yōu)先使用氣體滅火系統(tǒng)，安全通道寬度≥1.5m，應(yīng)急照明不影響氣流組織。

5、安全系統(tǒng)設(shè)計(jì)

電子廠房的安全系統(tǒng)設(shè)計(jì)應(yīng)包括消防系統(tǒng)、安全疏散系統(tǒng)、環(huán)保系統(tǒng)等。應(yīng)根據(jù)廠房特點(diǎn)和產(chǎn)品特性，設(shè)置相應(yīng)的消防設(shè)施和疏散通道，確保在火災(zāi)等緊急情況下員工的生命安全。此外，還應(yīng)設(shè)置環(huán)保設(shè)施，如廢水處理系統(tǒng)、廢棄物處理系統(tǒng)等，以減少對(duì)環(huán)境的影響。

6、環(huán)境保護(hù)

電子廠房的設(shè)計(jì)應(yīng)充分考慮環(huán)境保護(hù)，盡可能減少能源消耗和環(huán)境污染。應(yīng)選擇環(huán)保建筑材料和設(shè)備，采用節(jié)能技術(shù)和綠色生產(chǎn)工藝，減少?gòu)U棄物的產(chǎn)生和處理。同時(shí)，應(yīng)設(shè)置相應(yīng)的環(huán)保設(shè)施，如廢水處理系統(tǒng)、廢氣處理系統(tǒng)等，以減少對(duì)環(huán)境的影響。