近日，半導體量測設備企業(yè)上海匠嶺科技有限公司向上海某龍頭晶圓廠成功交付了復購的TFT70 SuperHiK??高端薄膜量測設備。值得關注的是，這是該客戶在已有合作基礎上的再次采購，這一動作，不僅是一次成功的商業(yè)交付，更是對匠嶺科技持續(xù)深耕高端量測領域、以技術硬實力滿足頂尖客戶需求的有力證明！

此次交付的一大亮點便是AiMET人工智能量測系統(tǒng)的驚艷亮相。

匠嶺科技經(jīng)過長期的研發(fā)和積累，深度融合人工智能技術打造了AiMET(AI-Enhanced Metrology)量測系統(tǒng)，這標志著AI智能量測技術在半導體前道制造環(huán)節(jié)實現(xiàn)了深度應用與關鍵突破。

TFT70作為匠嶺科技在售TFT系列的旗艦機型，采用業(yè)內領先的SuperHiK??量測技術，專門針對柵極超高k材料層（納米超薄單層膜）、金屬互連層(強相關性疊層納米超薄膜)和超薄介質層等最具挑戰(zhàn)的關鍵膜層提供精準量測，并成功解決了一系列國際性技術難題。

截至目前，TFT70已批量交付多家邏輯和存儲客戶，并獲得復購和量產(chǎn)線批量交付，為半導體前道產(chǎn)業(yè)鏈筑起了供應安全新屏障。

它主要應用于高端邏輯和存儲芯片制造的前道工藝控制，對多種關鍵膜層進行精確監(jiān)控：

• 柵極超高k材料層：影響晶體管性能和功耗；

• 金屬互連層：監(jiān)控多層金屬布線的厚度均勻性和效能一致性；

• 介質層：影響絕緣性能和信號完整性。

而此次交付設備中搭載的AiMET智能量測系統(tǒng)，采用物理化自監(jiān)督自適應規(guī)模神經(jīng)網(wǎng)絡架構，結合高可靠性并行計算，實現(xiàn)了從數(shù)據(jù)采集到分析的全鏈路AI賦能：

• 集成數(shù)據(jù)預處理、降維、分類與預測等機器學習技術；

• 自主研發(fā)的AI算法加速推理，單片晶圓分析速度提升20倍以上；

• 一鍵生成最優(yōu)化量測方案:由AI智能創(chuàng)建復雜膜層結構的量測Recipe，數(shù)倍提升工程效率與量測效能；
  

• 多膜層模型智能構建：實現(xiàn)多種復雜膜層材料、多膜層系數(shù)的AI智能構建；
  

• 精度提升：AI智能進化算法顯著提高復雜膜厚量測的精準度；
  

• 統(tǒng)一標準：消除操作性差異，實現(xiàn)模型構建和材料系統(tǒng)系數(shù)的一致性。

AiMET智能量測系統(tǒng)是匠嶺科技與客戶聯(lián)合攻關的定制化平臺，已在《第八屆國際先進光刻技術研討會(IWAPS 2025)》上進行技術報告，這標志著本土企業(yè)在高端量測AI領域的關鍵性技術突破。

匠嶺科技通過與客戶深度定制化開發(fā)AI應用，推動了半導體產(chǎn)業(yè)鏈的智能化發(fā)展，為本土晶圓廠提供了自主可控、穩(wěn)健的高端量測國產(chǎn)替代方案。

據(jù)了解，為顯著提升整體產(chǎn)能，更好服務域內客戶，以及支撐高速增長的業(yè)績，匠嶺科技位于浙江桐鄉(xiāng)的全新生產(chǎn)基地已在本月15日順利建成投產(chǎn)。該生產(chǎn)基地總面積達5000平方米，其中3000平方米為高等級無塵生產(chǎn)線與零部件倉儲中心。這一規(guī)?？捎^的新基地落成，使匠嶺科技對全域客戶的交付能力實現(xiàn)數(shù)倍提升，成為公司規(guī)模化經(jīng)營發(fā)展歷程中的又一重要里程碑！

該基地的建設是匠嶺科技“上海研發(fā)—長三角制造—全球服務”戰(zhàn)略布局的關鍵落子。依托上海臨港總部與張江研發(fā)中心，匠嶺科技能夠快速實現(xiàn)“研發(fā) - 工程化 - 量產(chǎn)”的轉化流程。

在半導體工藝不斷邁向更精微化的大背景下，匠嶺科技以“AI-Enhanced Metrology”為技術戰(zhàn)略布局，通過扎實的技術積累和緊密的客戶合作，正不斷夯實其在半導體裝備領域的中堅力量，為產(chǎn)業(yè)鏈的安全與升級持續(xù)貢獻著“智慧”與“實力”，加速產(chǎn)業(yè)發(fā)展演進升級！

關于匠嶺：上海匠嶺科技成立于2018年，全球總部位于上海臨港，長期持續(xù)在“高壁壘”量檢測領域技術攻關，致力打造國際化平臺型半導體量測設備公司，向全球提供高端工藝監(jiān)控解決方案。上海匠嶺科技已平臺化布局半導體前道、先進封裝、化合物半導體、新型顯示四大戰(zhàn)略領域，公司八大產(chǎn)品線及數(shù)十款機型已在各領域頭部企業(yè)的量產(chǎn)線中表現(xiàn)出卓越性能，屢次贏得各領域客戶的表彰和嘉獎，并持續(xù)為客戶提供高價值、創(chuàng)新型的解決方案。

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