近日，半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備企業(yè)上海匠嶺科技有限公司向上海某龍頭晶圓廠成功交付了復(fù)購(gòu)的TFT70 SuperHiK??高端薄膜量測(cè)設(shè)備。值得關(guān)注的是，這是該客戶在已有合作基礎(chǔ)上的再次采購(gòu)，這一動(dòng)作，不僅是一次成功的商業(yè)交付，更是對(duì)匠嶺科技持續(xù)深耕高端量測(cè)領(lǐng)域、以技術(shù)硬實(shí)力滿足頂尖客戶需求的有力證明！

此次交付的一大亮點(diǎn)便是AiMET人工智能量測(cè)系統(tǒng)的驚艷亮相。

匠嶺科技經(jīng)過(guò)長(zhǎng)期的研發(fā)和積累，深度融合人工智能技術(shù)打造了AiMET(AI-Enhanced Metrology)量測(cè)系統(tǒng)，這標(biāo)志著AI智能量測(cè)技術(shù)在半導(dǎo)體前道制造環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)了深度應(yīng)用與關(guān)鍵突破。

TFT70作為匠嶺科技在售TFT系列的旗艦機(jī)型，采用業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的SuperHiK??量測(cè)技術(shù)，專門針對(duì)柵極超高k材料層（納米超薄單層膜）、金屬互連層(強(qiáng)相關(guān)性疊層納米超薄膜)和超薄介質(zhì)層等最具挑戰(zhàn)的關(guān)鍵膜層提供精準(zhǔn)量測(cè)，并成功解決了一系列國(guó)際性技術(shù)難題。

截至目前，TFT70已批量交付多家邏輯和存儲(chǔ)客戶，并獲得復(fù)購(gòu)和量產(chǎn)線批量交付，為半導(dǎo)體前道產(chǎn)業(yè)鏈筑起了供應(yīng)安全新屏障。

它主要應(yīng)用于高端邏輯和存儲(chǔ)芯片制造的前道工藝控制，對(duì)多種關(guān)鍵膜層進(jìn)行精確監(jiān)控：

• 柵極超高k材料層：影響晶體管性能和功耗；

• 金屬互連層：監(jiān)控多層金屬布線的厚度均勻性和效能一致性；

• 介質(zhì)層：影響絕緣性能和信號(hào)完整性。

而此次交付設(shè)備中搭載的AiMET智能量測(cè)系統(tǒng)，采用物理化自監(jiān)督自適應(yīng)規(guī)模神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)架構(gòu)，結(jié)合高可靠性并行計(jì)算，實(shí)現(xiàn)了從數(shù)據(jù)采集到分析的全鏈路AI賦能：

• 集成數(shù)據(jù)預(yù)處理、降維、分類與預(yù)測(cè)等機(jī)器學(xué)習(xí)技術(shù)；

• 自主研發(fā)的AI算法加速推理，單片晶圓分析速度提升20倍以上；

• 一鍵生成最優(yōu)化量測(cè)方案:由AI智能創(chuàng)建復(fù)雜膜層結(jié)構(gòu)的量測(cè)Recipe，數(shù)倍提升工程效率與量測(cè)效能；
  

• 多膜層模型智能構(gòu)建：實(shí)現(xiàn)多種復(fù)雜膜層材料、多膜層系數(shù)的AI智能構(gòu)建；
  

• 精度提升：AI智能進(jìn)化算法顯著提高復(fù)雜膜厚量測(cè)的精準(zhǔn)度；
  

• 統(tǒng)一標(biāo)準(zhǔn)：消除操作性差異，實(shí)現(xiàn)模型構(gòu)建和材料系統(tǒng)系數(shù)的一致性。

AiMET智能量測(cè)系統(tǒng)是匠嶺科技與客戶聯(lián)合攻關(guān)的定制化平臺(tái)，已在《第八屆國(guó)際先進(jìn)光刻技術(shù)研討會(huì)(IWAPS 2025)》上進(jìn)行技術(shù)報(bào)告，這標(biāo)志著本土企業(yè)在高端量測(cè)AI領(lǐng)域的關(guān)鍵性技術(shù)突破。

匠嶺科技通過(guò)與客戶深度定制化開發(fā)AI應(yīng)用，推動(dòng)了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的智能化發(fā)展，為本土晶圓廠提供了自主可控、穩(wěn)健的高端量測(cè)國(guó)產(chǎn)替代方案。

據(jù)了解，為顯著提升整體產(chǎn)能，更好服務(wù)域內(nèi)客戶，以及支撐高速增長(zhǎng)的業(yè)績(jī)，匠嶺科技位于浙江桐鄉(xiāng)的全新生產(chǎn)基地已在本月15日順利建成投產(chǎn)。該生產(chǎn)基地總面積達(dá)5000平方米，其中3000平方米為高等級(jí)無(wú)塵生產(chǎn)線與零部件倉(cāng)儲(chǔ)中心。這一規(guī)模可觀的新基地落成，使匠嶺科技對(duì)全域客戶的交付能力實(shí)現(xiàn)數(shù)倍提升，成為公司規(guī)?；?jīng)營(yíng)發(fā)展歷程中的又一重要里程碑！

該基地的建設(shè)是匠嶺科技“上海研發(fā)—長(zhǎng)三角制造—全球服務(wù)”戰(zhàn)略布局的關(guān)鍵落子。依托上海臨港總部與張江研發(fā)中心，匠嶺科技能夠快速實(shí)現(xiàn)“研發(fā) - 工程化 - 量產(chǎn)”的轉(zhuǎn)化流程。

在半導(dǎo)體工藝不斷邁向更精微化的大背景下，匠嶺科技以“AI-Enhanced Metrology”為技術(shù)戰(zhàn)略布局，通過(guò)扎實(shí)的技術(shù)積累和緊密的客戶合作，正不斷夯實(shí)其在半導(dǎo)體裝備領(lǐng)域的中堅(jiān)力量，為產(chǎn)業(yè)鏈的安全與升級(jí)持續(xù)貢獻(xiàn)著“智慧”與“實(shí)力”，加速產(chǎn)業(yè)發(fā)展演進(jìn)升級(jí)！

關(guān)于匠嶺：上海匠嶺科技成立于2018年，全球總部位于上海臨港，長(zhǎng)期持續(xù)在“高壁壘”量檢測(cè)領(lǐng)域技術(shù)攻關(guān)，致力打造國(guó)際化平臺(tái)型半導(dǎo)體量測(cè)設(shè)備公司，向全球提供高端工藝監(jiān)控解決方案。上海匠嶺科技已平臺(tái)化布局半導(dǎo)體前道、先進(jìn)封裝、化合物半導(dǎo)體、新型顯示四大戰(zhàn)略領(lǐng)域，公司八大產(chǎn)品線及數(shù)十款機(jī)型已在各領(lǐng)域頭部企業(yè)的量產(chǎn)線中表現(xiàn)出卓越性能，屢次贏得各領(lǐng)域客戶的表彰和嘉獎(jiǎng)，并持續(xù)為客戶提供高價(jià)值、創(chuàng)新型的解決方案。

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