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中國光刻機從領(lǐng)先到落后20年,根源:造不如買

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2026年春天,阿斯麥爾的高數(shù)值孔徑EUV設(shè)備已經(jīng)在英特爾和三星的產(chǎn)線上調(diào)試,瞄準的是2納米以下制程。而上海微電子那臺28納米的DUV機器還在實驗室里反復跑數(shù)據(jù)。兩者之間橫亙的不是一條技術(shù)鴻溝,而是一整個被自己親手掐斷的時代。

我想把視角拉遠一點,不光盯著光刻機本身。八十年代"造不如買"這股風,刮倒的不是一棵樹,是一片林子。運10大飛機停了,結(jié)果四十年后C919才實現(xiàn)商飛,中間那幾十年我們給波音和空客送了多少錢?軍用領(lǐng)域更慘,遠程轟炸機、武裝直升機、大型驅(qū)逐艦,一口氣砍掉90個國防科研項目。有些項目當時已經(jīng)能看到樣機了,說停就停。每一個被砍掉的項目,背后都是成百上千人十幾年的心血歸零。

但光刻機的損失比這些都深遠,因為它卡的是整個信息產(chǎn)業(yè)的命門。它是信息時代的石油和鋼鐵加在一起。



有一個細節(jié)值得深挖:1985年我們做出了分步式光刻機,技術(shù)參數(shù)跟美國基本對齊,就晚了七年。同一年阿斯麥爾才剛從飛利浦的一間小廠房里獨立出來,賬上的錢連發(fā)三個月工資都夠嗆。但阿斯麥爾做對了一件我們沒做的事——它從第一天起就在搭建供應鏈生態(tài)。蔡司給它做鏡頭,后來Cymer給它做光源,再后來Trumpf接手了更先進的EUV光源。整條鏈上每一個節(jié)點都在同步迭代,咬合得像瑞士鐘表。

這里必須說一個被很多人忽視的問題:光刻機的競爭,本質(zhì)上不是一臺機器的競爭,是一整套工業(yè)體系的競爭。一臺EUV光刻機里有超過十萬個零部件,涉及幾十個國家的上百家供應商。蔡司打磨那面鏡子的精度,相當于把一個足球場磨平到誤差不超過一根頭發(fā)絲的千分之一。這種東西,不是你撥筆經(jīng)費、建個實驗室就能追上的。它需要幾十年不間斷的工藝積累,需要一代人甚至兩代人把手藝傳下去。



那為什么韓國人能追上來?三星在半導體上砸錢,是從七十年代末就開始的。早期虧得一塌糊涂,內(nèi)部反對聲不斷。幾十年下來,硬是在存儲芯片和代工兩條線上都站住了腳。臺灣地區(qū)的臺積電更是一個經(jīng)典案例——張忠謀1987年創(chuàng)辦臺積電時已經(jīng)56歲,拿的是臺當局的啟動資金加上飛利浦的技術(shù)入股,起點并不高。但人家認準了"純代工"這條路,三十多年沒動搖過。

反過來看我們,八十年代選擇了買,九十年代和兩千年代也沒真正回頭。中間有過幾次零星的努力,比如"909工程"上馬了華虹,但那更多是沖著量產(chǎn)芯片去的,光刻機這種最上游的設(shè)備始終沒被當成戰(zhàn)略重心。等到2018年中興被美國一紙禁令打趴下,整個國家才像被扇了一巴掌似的驚醒過來。



這一巴掌扇得不輕。2019年華為被列入實體清單,臺積電被迫斷供。2020年開始美國逼著荷蘭限制阿斯麥爾向中國出口EUV設(shè)備。2023年管控升級到DUV,連成熟制程的設(shè)備都開始卡。2024年日本也被拉進來,東京電子和尼康的出口許可收得越來越緊。到2025年底,針對人工智能芯片的新一輪禁令落地,連云端推理用的中端芯片都被劃進了管控范圍。2026年初,又傳出美方正在研究對半導體設(shè)備維保服務(wù)實施限制——這意思是,就算你以前買了機器,以后零件壞了可能都沒人給你修。

這一系列操作的邏輯鏈條非常清晰:不是要你慢一拍,是要你永遠追不上來。它打擊的不只是某一款產(chǎn)品,而是你進入先進制程的全部可能性。



我有一個比較冷門但關(guān)鍵的觀察:光刻機的制裁之所以掐得這么準,恰恰是因為這個領(lǐng)域的全球供應鏈高度集中。EUV光刻機全球只有阿斯麥爾一家能造,極紫外光源主要靠Trumpf,高端光刻膠基本被日本的JSR和東京應化壟斷。這不是什么自由市場自然形成的格局,背后有大量的政府補貼、聯(lián)合研發(fā)項目和專利交叉授權(quán)。美國能用一紙行政令卡住全球半導體設(shè)備的流向,根本原因就是這套體系的關(guān)鍵節(jié)點全在它和盟友手里。你造不如買,買到的東西永遠帶著一根隱形的繩子。

所以我的看法跟一些樂觀派不太一樣,有人覺得現(xiàn)在錢砸夠了、政策到位了,十年內(nèi)一定能突破。我認為EUV這件事,十年能不能拿出實驗室級別的原型機都是個問號。半導體物理定律不認你的制度優(yōu)勢,也不認你的市場規(guī)模。

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