說起來芯片，大家現(xiàn)在都不陌生，這玩意兒就跟咱日常的空氣和水似的，現(xiàn)代生活根本離不了。但要是問起造芯片最關(guān)鍵的東西是什么？那答案有一個(gè)：光刻機(jī)。對(duì)于咱們中國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)來說，這東西簡直就是“心頭痛”，沒有之一。

為啥這么說？兩個(gè)原因，一個(gè)比一個(gè)扎心。

第一，這玩意兒技術(shù)門檻高得嚇人。咱們國內(nèi)自己搗鼓的水平，跟國際上那幾家頂尖的比，差距真不是一星半點(diǎn)兒。有人估算過，至少得落后個(gè)十年以上 。

第二，因?yàn)槊绹闹撇?，全世界最先進(jìn)的那種極紫外光刻機(jī)，人家壓根就不賣給咱們。連稍微先進(jìn)點(diǎn)的浸潤式深紫外光刻機(jī)，想買也費(fèi)勁。這就好比你正餓得慌，結(jié)果人家把飯碗端得遠(yuǎn)遠(yuǎn)的，還告訴你“不給吃” 。

到底形勢(shì)有多嚴(yán)峻呢？咱不說虛的，看兩個(gè)數(shù)據(jù)，你心里就有數(shù)了。

第一個(gè)數(shù)據(jù)，從全球市場來看，咱們國產(chǎn)光刻機(jī)占的份額，大概只有0.2%。對(duì)，你沒看錯(cuò)，是零點(diǎn)二個(gè)百分點(diǎn)。現(xiàn)在全球能造光刻機(jī)的廠商，掰著手指頭數(shù)也就那么幾家：荷蘭的ASML（阿斯麥）、日本的尼康和佳能，再就是咱們的上海微電子。但在市場份額這張餅圖里，咱們那0.2%幾乎可以忽略不計(jì)，剩下的市場全被那三家瓜分了 。

第二個(gè)數(shù)據(jù)更扎心，咱們自己國內(nèi)用的光刻機(jī)，國產(chǎn)的自給率還不到1%。這里得說清楚，國產(chǎn)光刻機(jī)其實(shí)也出貨，但大部分是用在封測環(huán)節(jié)的，也就是芯片造好了之后，給它做后續(xù)處理。

真正用在最核心的芯片制造環(huán)節(jié)的前道光刻機(jī)，占比低得可憐，連1%都?jí)騿堋鴥?nèi)那些晶圓廠里跑著的光刻機(jī)，十有八九都是從ASML、尼康、佳能那買的。其中，稍微高端點(diǎn)的，八成找ASML買；低端一些的，兩成從日本買 。

所以說，這脖子被卡得是真叫一個(gè)死。

那咱們自己的光刻機(jī)，到底搗鼓到啥程度了？公開資料顯示，上海微電子的水平達(dá)到了ArF級(jí)別，顯示的精度是90納米。有人可能會(huì)說，通過多次曝光，能做到28納米。這其中的真假，咱也不敢亂猜。

但之前確實(shí)曝光過一臺(tái)氟化氬光刻機(jī)，分辨率能小于65納米，用的是193納米波長的光線，套刻精度小于等于8納米。懂行的朋友可能看出來了，這玩意兒其實(shí)離最關(guān)鍵的浸潤式技術(shù)只差臨門一腳了。但就這一腳，跨過去可沒那么容易 。

咱們苦光刻機(jī)久矣。路雖然難走，但也沒有退路。接下來，就盼著國產(chǎn)光刻機(jī)能早日捅破那層窗戶紙，只要邁進(jìn)了浸潤式那道坎，整個(gè)局面或許就能迎來天翻地覆的改變。