回想中國半導(dǎo)體起步那會(huì)兒，真是從零開始卻干勁十足。五十年代中葉，國家就把這項(xiàng)技術(shù)當(dāng)成頭等大事，科研人員埋頭苦干，從基礎(chǔ)材料入手，第一批晶體管很快就出來了。這些成果直接撐起國防計(jì)算需求。光刻機(jī)作為核心裝備，早早進(jìn)入視線，大家用國產(chǎn)零件手工調(diào)校，1965年終于搞出接觸式機(jī)器，雖然比美國晚幾年，但精度沒掉隊(duì)太多。那時(shí)候團(tuán)隊(duì)反復(fù)實(shí)驗(yàn)，積累經(jīng)驗(yàn)，大家心里都清楚，自力更生才能站穩(wěn)腳跟。

七十年代，中國光刻技術(shù)已有點(diǎn)底子，但規(guī)模小，更新跟不上國外節(jié)奏。國外轉(zhuǎn)向更精密的接近式，我們還堅(jiān)守接觸式。1977年開會(huì)討論情報(bào)收集和設(shè)備優(yōu)化，參會(huì)者散會(huì)后立刻行動(dòng)，啟動(dòng)逆向研究。1985年，分步投影機(jī)樣機(jī)問世，3微米精度追平美國七八年的水平?？蒲姓邇?yōu)化光學(xué)系統(tǒng)，測試曝光效果，花了不少工夫。當(dāng)時(shí)ASML剛起步，中國本有機(jī)會(huì)借集中資源趕超，可惜思路漸漸變了。

八十年代初，中美關(guān)系緩和，美國開放部分高科技出口。中國資金吃緊，研發(fā)周期長，買現(xiàn)成設(shè)備的念頭冒出來。光刻機(jī)這么復(fù)雜的玩意兒，涉及光學(xué)機(jī)械電子多領(lǐng)域，直接采購確實(shí)省心省力。結(jié)果不少項(xiàng)目放緩腳步，資金轉(zhuǎn)向引進(jìn)。像大飛機(jī)項(xiàng)目，首飛后沒多久就暫停，轉(zhuǎn)向國際合作。半導(dǎo)體領(lǐng)域類似，自主迭代慢下來，國外企業(yè)卻加速整合供應(yīng)鏈，中國差距開始拉開。

八十年代末，中國引進(jìn)一批國外光刻機(jī)，生產(chǎn)線快速上馬，短期產(chǎn)量上去了。但本土研發(fā)能力弱了，人才開始分流，有的轉(zhuǎn)行有的出國。產(chǎn)業(yè)鏈自主化進(jìn)程受阻，早年積累的優(yōu)勢漸漸流失。九十年代，國際形勢更緊，《瓦森納協(xié)議》出來，歐美限制中國進(jìn)口先進(jìn)設(shè)備，只能拿落后貨色。ASML這時(shí)已壟斷高端市場，中國被迫從頭摸索，進(jìn)度自然慢。

那些年，科研人員本該繼續(xù)鉆研，卻因政策調(diào)整閑置下來。依賴進(jìn)口看似聰明，其實(shí)埋下隱患。一旦國外卡脖子，就手足無措。半導(dǎo)體關(guān)乎國家命脈，芯片制造卡在光刻環(huán)節(jié)，影響多大可想而知。早期中國與世界差距小，就幾年光景，后因“造不如買”心態(tài)，二十年落后成現(xiàn)實(shí)。那些堅(jiān)持自研的老一輩，估計(jì)心里五味雜陳。

九十年代，技術(shù)封鎖加劇，中國光刻研發(fā)幾乎停滯。ASML整合全球資源，推出更先進(jìn)機(jī)型，中國卻在實(shí)驗(yàn)室紙上談兵。人才流失嚴(yán)重，產(chǎn)業(yè)鏈斷裂，本土企業(yè)缺乏市場刺激，沒動(dòng)力深耕。結(jié)果高端芯片制造始終受制于人，代工測試成主要角色。早年自力更生那股勁兒，如果沒中斷，或許局面不一樣。

新世紀(jì)初，國家意識到問題，啟動(dòng)專項(xiàng)計(jì)劃，重金投入半導(dǎo)體自研。但起點(diǎn)已落后太多，ASML的EUV技術(shù)占高地，中國還停在傳統(tǒng)節(jié)點(diǎn)。2010年后，國際管制更嚴(yán)，中國加速建自主鏈條。光刻機(jī)滯后，直接制約芯片產(chǎn)業(yè)。像華為事件，就暴露痛點(diǎn)。那些年引進(jìn)設(shè)備省了眼前麻煩，卻丟了長遠(yuǎn)根基。

“造不如買”這四個(gè)字，表面省事，實(shí)際短視。早期中國光刻跟得上國際，六十年代接觸式，八十年代步進(jìn)式，本有機(jī)會(huì)并肩。但開放后買辦思路抬頭，覺得自研費(fèi)力不討好。結(jié)果技術(shù)空窗期長達(dá)十幾年，人才散了，經(jīng)驗(yàn)斷了。國外封鎖時(shí)，才醒悟核心技術(shù)必須自握。可惜時(shí)間不等人，差距拉到二十年。

如今中國光刻自研在追趕，電子束機(jī)型已商業(yè)化，但整體還需時(shí)日。高盛報(bào)告指出，國產(chǎn)機(jī)停在65納米，落后ASML二十年。供應(yīng)鏈依賴全球，尤其歐美零件，受限嚴(yán)重。想想那些科研者，多少人一生撲在上面，卻因決策轉(zhuǎn)折半途而廢。半導(dǎo)體事關(guān)國防經(jīng)濟(jì)，這教訓(xùn)深刻。