文/王新喜

從2019年到今天，美國(guó)盯上先進(jìn)芯片與制造設(shè)備，一直在加碼限制荷蘭光刻機(jī)向中國(guó)出售，這本來(lái)是日本光刻機(jī)順勢(shì)崛起、趁機(jī)搶市場(chǎng)的大好機(jī)會(huì)，但是這么多年過(guò)去了，日本尼康、佳能光刻機(jī)不僅沒(méi)能順勢(shì)搶到市場(chǎng)蛋糕，反而越來(lái)越邊緣化了，為啥？

從光刻機(jī)市場(chǎng)來(lái)看，日本的尼康和佳能本來(lái)就是生產(chǎn)光刻機(jī)的，歷史比ASML悠久，技術(shù)也強(qiáng)，資金也雄厚。

在ASML之前，日本的尼康、佳能才是老大哥。尼康在1978年完成首臺(tái)半導(dǎo)體光刻機(jī)SR-1，佳能則早在1970年就推出日本第一臺(tái)商用光刻機(jī)PPC-1。不過(guò)發(fā)展到采用193nm的干式光刻機(jī)的時(shí)候，發(fā)生了分歧，日系廠商認(rèn)為要繼續(xù)研發(fā)使用波長(zhǎng)更短的光源比如165nm，來(lái)提高光刻分辨率。

但是165nm波長(zhǎng)的光線非常不穩(wěn)定，研究了幾年，大家都沒(méi)進(jìn)展。

轉(zhuǎn)折點(diǎn)發(fā)生在ASML與臺(tái)積電合作，制造出全球第一臺(tái)以水為介質(zhì)的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，采用193nm波長(zhǎng)，但等效于134nm，馬上投入臺(tái)積電的生產(chǎn)線上，效果非常好。

于是市場(chǎng)慢慢的全被ASML搶走了，后來(lái)ASML更造出了EUV光刻機(jī)，獨(dú)家壟斷了光源，差距進(jìn)一步拉大，尼康也不得不選擇跟進(jìn)，后來(lái)尼康也能夠量產(chǎn)用于生產(chǎn)7nm及以下制程的浸潤(rùn)式光刻機(jī)，也就是DUV中的ARFI光刻機(jī)。

日本尼康曾經(jīng)是光刻機(jī)領(lǐng)域曾經(jīng)的世界第一，但后來(lái)與ASML的差距已經(jīng)拉開(kāi)。不過(guò)，在DUV光刻機(jī)領(lǐng)域，尼康弱于ASML，但也能基本滿(mǎn)足需求，根據(jù)尼康過(guò)去透露，它所布局的NSR-S635E ArF 浸入式光刻機(jī)與ASML的EUV光刻機(jī)不同，使用DUV光源就可以加工5～7納米的芯片，每小時(shí)可以制造275片晶圓，并且不使用美國(guó)技術(shù)。

簡(jiǎn)言之，雖然EUV光刻機(jī)，尼康也造不出來(lái)，但尼康的實(shí)力是可以爭(zhēng)奪中國(guó)的DUV光刻機(jī)市場(chǎng)，對(duì)于尼康公司來(lái)說(shuō)，也是一個(gè)翻盤(pán)的機(jī)會(huì)。但是這么多年過(guò)去了，以尼康為首的日本光刻機(jī)為何根本也沒(méi)能撼動(dòng)ASML分毫呢？

原因在于，首先是ASML光刻機(jī)的大客戶(hù)就是那么幾家，而且彼此形成了長(zhǎng)期合作的供應(yīng)鏈信任關(guān)系，ASML將眾多的光刻機(jī)的供應(yīng)鏈捆綁在一起的，有很多核心企業(yè)更是獨(dú)家合作的，技術(shù)不會(huì)外流，別的企業(yè)要挖ASML墻角，非常難，尼康、佳能要挖這個(gè)墻角，是非常難得。

日本光刻機(jī)的機(jī)會(huì)其實(shí)就是在中國(guó)市場(chǎng)。在ASML因?yàn)槊绹?guó)出口管制的壓力下被迫制裁我們的時(shí)候，我們其實(shí)也想多渠道拓寬光刻機(jī)進(jìn)口來(lái)源，但是日本在這種情況下，選擇堅(jiān)決服從配合美國(guó)制裁。

比如2023年3月，日本政府就宣布對(duì)包括光刻機(jī)在內(nèi)的23種半導(dǎo)體設(shè)備實(shí)施出口管制，從光刻機(jī)到光刻膠層層加碼限制對(duì)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備出口，2024年4月，日本更進(jìn)一步，把GAAFET（全環(huán)繞柵極晶體管）等先進(jìn)技術(shù)也納入管制范圍，直接把大量?jī)?yōu)質(zhì)訂單拱手讓給ASML。

而ASML限制向中國(guó)出口光刻機(jī)，是迫于美國(guó)制裁，是不情愿的，它選擇了一種利益優(yōu)先，規(guī)則為輔的思維鉆政策的漏洞去靈活繞過(guò)美方出口管制。

自2022年起，荷蘭官方就多次態(tài)度非常強(qiáng)硬，聲稱(chēng)“荷蘭不會(huì)一比一照搬美國(guó)（對(duì)華出口）的措施”。

在美方2022年底不斷升級(jí)的芯片出口管制壓力下，荷蘭確實(shí)也出臺(tái)了新規(guī)，但這些規(guī)定主要是針對(duì)最新一代設(shè)備，舊型號(hào)及中低端產(chǎn)品依然能自由流通。在2023年，ASML向中國(guó)銷(xiāo)售了450臺(tái)光刻機(jī)，較2022年的出貨量提升了50%，總收入約有29%來(lái)自我國(guó)。

在2024年，荷蘭和美國(guó)最新頒布的出口管制法規(guī)已經(jīng)生效，NXT:2000i及以上浸潤(rùn)式設(shè)備的出口被限制，但在此前之前，ASML緊急向美申請(qǐng)了4個(gè)月的限制豁免期，緊急放行光刻設(shè)備，對(duì)我方加緊出貨。

2024年3月，荷蘭首相訪華親自表態(tài)會(huì)努力減少出口限制造成的影響。2024年9月加緊了出口許可規(guī)定，對(duì)NXT1980Di之后的DUV設(shè)備實(shí)行逐案審批，不過(guò)老款和中低端機(jī)型還是能照賣(mài)不誤。

此外，荷蘭政府在2025年1月專(zhuān)門(mén)把大部分ASML對(duì)華銷(xiāo)售從“雙重用途”出口數(shù)據(jù)里剔除了，這相當(dāng)于給公司開(kāi)了綠燈，讓幾十億歐元的買(mǎi)賣(mài)不用公開(kāi)接受審查。甚至主動(dòng)構(gòu)建中國(guó)本地維修網(wǎng)點(diǎn)，給現(xiàn)有設(shè)備保駕護(hù)航，持續(xù)綁定貿(mào)易關(guān)系。

但是日本似乎就從沒(méi)想過(guò)這個(gè)問(wèn)題，嚴(yán)格遵循美方的制裁要求，日本經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)省直接發(fā)話，像尼康、佳能這種老字號(hào)企業(yè)，嚴(yán)禁把浸沒(méi)式光刻機(jī)賣(mài)給中國(guó)客戶(hù)。不留一絲口子，這導(dǎo)致日本2024年對(duì)華半導(dǎo)體出口萎縮20%以上，市場(chǎng)份額損失超過(guò)30億美元。

而荷蘭的操作則非常靈活，既維持美方的盟友關(guān)系，又給自家企業(yè)留足了生存空間，避免了在世界最大芯片消費(fèi)市場(chǎng)“自斷財(cái)路”的尷尬。不少業(yè)內(nèi)人士與媒體感嘆日本光刻機(jī)大大葬送彎道超車(chē)的機(jī)會(huì)，“盲目跟風(fēng)， 荷蘭笑了，日本哭了”。

荷蘭在“頂住美方壓力”與“穩(wěn)住業(yè)務(wù)”間找到平衡，是一種靈活的生意人思維，有錢(qián)賺絕不把門(mén)關(guān)死，盡量努力減少出口管制對(duì)自身業(yè)務(wù)的影響，而日本光刻機(jī)原本只是第二梯隊(duì)，不是美國(guó)緊盯的頭部出口管制對(duì)象，但是日本卻比荷蘭更加積極的配合美國(guó)的出口管制。

荷蘭用靈活的實(shí)際行動(dòng)與生意人頭腦穩(wěn)住自己的市場(chǎng)，日本卻將產(chǎn)業(yè)命脈牢牢綁在美國(guó)的戰(zhàn)車(chē)上，綁在政治外交的站隊(duì)上，繼而導(dǎo)致自身的產(chǎn)業(yè)風(fēng)險(xiǎn)不可控，日本光刻機(jī)的話語(yǔ)權(quán)與市場(chǎng)份額進(jìn)一步萎縮。

日經(jīng)新聞反復(fù)提到，這種全盤(pán)服從，讓日本喪失了競(jìng)爭(zhēng)的可能性。據(jù)《日本經(jīng)濟(jì)新聞》在2024年11月透露荷蘭ASML照樣賣(mài)中低端設(shè)備，把本該屬于日本的市場(chǎng)給搶了去。

中國(guó)因?yàn)槭苊绹?guó)的限制禁令，備受卡脖子之苦，國(guó)產(chǎn)替代的訴求比以往任何時(shí)刻都要更強(qiáng)烈。去年去年曝光的氟化氬光刻機(jī)，是ArF光刻機(jī)，接下來(lái)要突破的是浸潤(rùn)式DUV。

此外，中國(guó)在光刻機(jī)技術(shù)還在推進(jìn)納米壓印與電子光束多條路線并行研發(fā)。在EUV光刻機(jī)的光源技術(shù)上，哈工大與國(guó)儀超精密集團(tuán)共建的11億元產(chǎn)線已試運(yùn)行，雖然與ASML的商用標(biāo)準(zhǔn)尚有差距，但已足夠支撐原型機(jī)通過(guò)關(guān)鍵測(cè)試。

中國(guó)用時(shí)間換空間，用進(jìn)口緩沖期加速自研，實(shí)現(xiàn)關(guān)鍵節(jié)點(diǎn)的突圍。這種全球多極化的芯片市場(chǎng)分化已成趨勢(shì)，中國(guó)將成為重要一極。

半導(dǎo)體命運(yùn)旋轉(zhuǎn)不息，技術(shù)之外折射出國(guó)家間的利益較量。尼康股價(jià)在2025年上半年訂單少了，業(yè)績(jī)也跟著掉鏈子，錯(cuò)失在中國(guó)市場(chǎng)的機(jī)會(huì)，恐再無(wú)翻身之日了。

日本在光刻機(jī)市場(chǎng)的慘敗給市場(chǎng)上了一課，不要高看了自己，也不要低看了別人，做生意如果沒(méi)有自己的主見(jiàn)，將外交政治服從凌駕于商業(yè)經(jīng)營(yíng)之上，只懂的全方位配合美國(guó)制裁，沒(méi)有“利益優(yōu)先，規(guī)則為輔”的靈活化思維，也相當(dāng)于直接把自己的市場(chǎng)拱手讓人，放棄了國(guó)際博弈中的籌碼，最終葬送的是自己的前途與未來(lái)。

作者：王新喜 TMT資深評(píng)論人 本文未經(jīng)許可謝絕轉(zhuǎn)載