說(shuō)起芯片卡脖子，大多數(shù)人腦子里蹦出來(lái)的就是光刻機(jī)。可我們換個(gè)角度想想——一臺(tái)價(jià)值上億美元的光刻機(jī)擺在那兒，缺了一種氣體，它連光都發(fā)不出來(lái)，跟廢鐵有什么區(qū)別？

這種氣體叫電子特氣。業(yè)內(nèi)把它叫作晶圓制造的＂血液＂。光刻、刻蝕、清洗、沉積，芯片制造的每道工序都離不開(kāi)它。斷了這口氣，臺(tái)積電也得停擺。

過(guò)去幾十年，這口氣一直捏在別人手里。2020年的數(shù)據(jù)擺在那兒，美國(guó)空氣化工、美國(guó)普萊克斯、法國(guó)液化空氣、日本太陽(yáng)日酸以及德國(guó)林德，五大巨頭吃掉了中國(guó)市場(chǎng)85%的份額。

一公斤進(jìn)口電子特氣敢開(kāi)價(jià)幾萬(wàn)塊，你還得用人家指定的瓶子、指定的接口。想換供應(yīng)商？沒(méi)門(mén)。產(chǎn)線停一天損失就是幾個(gè)億。

誰(shuí)也沒(méi)料到，撕開(kāi)這個(gè)口子的，是廣東佛山一家民營(yíng)企業(yè)。

1993年，45歲的石平湘做了一個(gè)讓周?chē)讼氩煌ǖ臎Q定——丟掉鐵飯碗，下海創(chuàng)業(yè)。

起因說(shuō)來(lái)也簡(jiǎn)單。當(dāng)年科技部一個(gè)調(diào)查小組來(lái)佛山調(diào)研集成電路，席間一位高級(jí)工程師一拳砸在桌上，說(shuō)了句＂中國(guó)的化工人是吃素的嗎＂。

這句話像根刺一樣扎進(jìn)了石平湘心里。他放棄了政府部門(mén)的工作崗位，創(chuàng)立了廣東華南特種氣體研究所，也就是華特氣體的前身。

起步階段干的全是苦活。第一款產(chǎn)品是氬加二氧化碳焊接保護(hù)氣，給鋼廠、摩托車(chē)廠配送，利潤(rùn)薄得可憐?？墒较娌桓市囊惠呑赢?dāng)搬運(yùn)工。

1998年，他帶著一幫人義無(wú)反顧走上特種氣體自主研發(fā)道路。

從這一步起，華特氣體踏上了一條極其艱難的長(zhǎng)路。

做電子特氣，核心難點(diǎn)在純度。光刻氣要求達(dá)到6N級(jí)，就是99.9999%，百萬(wàn)分之一的雜質(zhì)都不允許存在。光刻機(jī)里有個(gè)激光腔，需要通入氬氣、氟氣、氖氣、氪氣等稀有混合氣體，利用稀有氣體電離激發(fā)出特定波長(zhǎng)的激光。

配比稍有偏差，激光能量就忽高忽低，幾千萬(wàn)美元的晶圓直接報(bào)廢。

更要命的是裝氣的瓶子。氣瓶?jī)?nèi)壁哪怕只有零點(diǎn)幾微米的顆粒，氣體灌進(jìn)去就被污染了。國(guó)外巨頭對(duì)這個(gè)環(huán)節(jié)嚴(yán)防死守，連閥門(mén)都不賣(mài)。華特沒(méi)有現(xiàn)成設(shè)備，工程師就鉆進(jìn)反應(yīng)釜里面，趴著一層層手工打磨內(nèi)壁，一遍遍清洗，硬是搞出了自己的氣瓶?jī)?nèi)壁處理技術(shù)。

瓶子搞定了，配方又是一道天塹。華特氣體總經(jīng)理傅鑄紅回憶說(shuō)：＂我們從1998年就開(kāi)始研發(fā)這款氣體，過(guò)程非常艱難。＂

從研發(fā)到拿認(rèn)證，華特氣體足足磨了19年。

2017年，華特氣體的光刻混合氣通過(guò)了全球最大光刻機(jī)制造商ASML的認(rèn)證。在這份名單中全球只有四家企業(yè)，華特是中國(guó)唯一一家。這張＂入場(chǎng)券＂分量有多重？ASML會(huì)強(qiáng)烈建議光刻機(jī)用戶配套使用認(rèn)證企業(yè)的光刻氣，否則出了問(wèn)題不承擔(dān)責(zé)任。

拿到這個(gè)認(rèn)證的過(guò)程本身就是一場(chǎng)硬仗。2019年華特氣體營(yíng)收才8.44億元，而法液空、林德這些國(guó)際巨頭，營(yíng)收都在千億以上。

體量差距太懸殊，ASML一開(kāi)始根本不愿意測(cè)試華特的產(chǎn)品。傅鑄紅回憶，他們不斷跟ASML溝通，展示生產(chǎn)過(guò)程、品控手段與檢測(cè)技術(shù)，前后磨了將近一年，對(duì)方才松了口。

2021年，華特又拿下了日本GIGAPHOTON的認(rèn)證，成為國(guó)內(nèi)唯一一家光刻氣產(chǎn)品同時(shí)通過(guò)兩大頭部外企認(rèn)證的公司。

真正讓國(guó)產(chǎn)氣體＂上位＂的，是接連兩場(chǎng)危機(jī)。

2019年7月，日本政府宣布對(duì)韓國(guó)實(shí)施半導(dǎo)體出口限制，管控高純度氟化氫、光刻膠以及氟聚酰亞胺三種關(guān)鍵材料。三星、SK海力士瞬間慌了。

這記耳光打醒了整個(gè)東亞半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈——便宜沒(méi)用，手里有貨才是硬道理。此前不敢大規(guī)模啟用國(guó)產(chǎn)氣體的中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)，開(kāi)始加速導(dǎo)入華特的產(chǎn)品。

2022年，俄烏沖突爆發(fā)又來(lái)了一記重錘。烏克蘭兩家最大的氖供應(yīng)商Cryoin與Ingas停產(chǎn)，全球芯片產(chǎn)業(yè)一片恐慌。而中國(guó)鋼鐵產(chǎn)量占全球56%，氖氣、氪氣、氙氣恰好是鋼鐵行業(yè)空分設(shè)備的副產(chǎn)品。華特氣體與凱美特氣迅速填補(bǔ)了全球缺口。

這就是工業(yè)體系的力量。歐美搞了多年去工業(yè)化，鋼鐵廠關(guān)了大半，連原料都湊不齊。中國(guó)恰恰因?yàn)閾碛腥蜃钔暾墓I(yè)鏈條，關(guān)鍵時(shí)刻能頂上去。

截至2025年上半年，華特氣體產(chǎn)品已服務(wù)國(guó)內(nèi)90%以上的8至12寸芯片制造企業(yè)，超55個(gè)品類滿足半導(dǎo)體廠生產(chǎn)需求，部分氟碳類產(chǎn)品、氫化物已進(jìn)入5納米先進(jìn)制程。

下游客戶涵蓋中芯國(guó)際、長(zhǎng)江存儲(chǔ)、三星、SK海力士、臺(tái)積電，還有英特爾、美光、德州儀器。2024年，公司產(chǎn)品通過(guò)了4家新加坡半導(dǎo)體廠的認(rèn)證，海外直銷(xiāo)取得突破。泰國(guó)、新加坡、馬來(lái)西亞的子公司也已落地。

2025年3月21日，華特氣體新總部辦公樓與研發(fā)中心正式啟動(dòng)建設(shè)。來(lái)看最新的數(shù)字：2025年全年，公司營(yíng)收14.19億元，同比微增1.72%；但受行業(yè)價(jià)格競(jìng)爭(zhēng)加劇影響，歸母凈利潤(rùn)1.44億元，同比下降22.17%。日子并不好過(guò)。

上半年行業(yè)呈現(xiàn)＂需求端暖、價(jià)格端承壓＂的顯著特征，產(chǎn)品銷(xiāo)量增長(zhǎng)明顯，價(jià)格下行卻直接對(duì)沖了增長(zhǎng)的積極效應(yīng)。

2025年8月，華特氣體獲得士蘭微＂材料戰(zhàn)略合作供應(yīng)商＂稱號(hào)；同年6月又拿下中芯寧波第六屆＂優(yōu)秀供應(yīng)商＂獎(jiǎng)項(xiàng)。

但我們必須清醒看到，路還遠(yuǎn)得很。目前國(guó)內(nèi)自主生產(chǎn)的電子特種氣體市場(chǎng)份額占比仍然較小，我國(guó)僅能生產(chǎn)不到三成的集成電路用電子特氣品種，高端產(chǎn)品產(chǎn)能不足，進(jìn)口依賴度依然較高。華特氣體在國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額占比不到5%。

2019年，華特氣體在上交所鳴鑼上市，成為佛山也是我國(guó)氣體行業(yè)首家登陸科創(chuàng)板的企業(yè)。如今，他的女兒石思慧已接過(guò)接力棒，擔(dān)任公司董事長(zhǎng)。

核心技術(shù)這種東西，花錢(qián)真買(mǎi)不到。當(dāng)年卡我們脖子的人，如今反過(guò)來(lái)排隊(duì)下單。這件事本身，就是最有力的回答。