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日本光刻機(jī)巨頭,崩了!

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墻內(nèi)的孤勇。

文 | 華商韜略 張靜波

2026年開(kāi)春,一則重磅消息在日本產(chǎn)業(yè)界,炸響了驚雷。

作為日本驕傲的百年光學(xué)巨頭尼康,2025財(cái)年預(yù)虧850億日元,創(chuàng)下公司歷史上最大虧損紀(jì)錄。

這個(gè)數(shù)字,再次擊碎了日本產(chǎn)業(yè)的顏面。

【01 喪鐘】

尼康解釋,導(dǎo)致自身虧損的核心原因是:3D打印機(jī)業(yè)務(wù)拖累。

但更多人卻將目光投向一個(gè)刺眼的數(shù)字:尼康光刻機(jī)業(yè)務(wù),過(guò)去半年僅賣了9臺(tái),而且賣的幾乎全是成熟制程設(shè)備。

而地球另一端,荷蘭ASML也交出了半年答卷:僅高端EUV光刻機(jī)就狂賣20多臺(tái),總出貨量更高達(dá)160臺(tái)。

9對(duì)160,這不是差距,這是挽歌、喪鐘。

在東京,尼康總部大樓的會(huì)議室里,空氣凝固得讓人窒息。

會(huì)長(zhǎng)馬立稔和一臉憔悴,作為公司內(nèi)部最懂光刻機(jī)技術(shù)的高管,他曾親眼見(jiàn)證了尼康昔日的輝煌。

也正因?yàn)槿绱耍矍斑@般慘淡,才最為誅心。

時(shí)鐘撥回到1980年代,那是尼康的沸騰年代。

彼時(shí)的尼康,代表了日本精密制造的巔峰水平,它在專業(yè)相機(jī)與半導(dǎo)體光刻機(jī)兩大核心領(lǐng)域同時(shí)登頂全球。

尤其光刻機(jī),是半導(dǎo)體工業(yè)的心臟。而尼康的光刻機(jī),又是業(yè)界的佼佼者。

曾有媒體形容尼康光刻機(jī)的精度,堪比在富士山頂,精準(zhǔn)命中東京街頭的一枚縫衣針。 甚至有人斷言:

沒(méi)有尼康,就沒(méi)有現(xiàn)代半導(dǎo)體工業(yè)。

那是尼康呼風(fēng)喚雨的時(shí)代。

從英特爾、IBM到德州儀器……全球芯片巨頭為了求得一臺(tái)尼康光刻機(jī),不惜放下身段。他們成立對(duì)接團(tuán)隊(duì),常駐尼康硅谷分部,只為爭(zhēng)取優(yōu)先供貨權(quán)。

坊間更流傳,有半導(dǎo)體老板親赴尼康工廠蹲點(diǎn),預(yù)付全款只為求一個(gè)調(diào)試名額。

那時(shí)的尼康,壟斷了全球光刻機(jī)市場(chǎng)的半壁江山,地位正如今天的ASML,是不可撼動(dòng)的霸主。

在它的鐵騎之下,美國(guó)光刻機(jī)鼻祖GCA被迫宣布破產(chǎn),而今天的巨頭ASML,彼時(shí)不過(guò)是夾縫求生的小玩家,完全沒(méi)有話語(yǔ)權(quán)。

當(dāng)年還是一名普通工程師的馬立稔和,見(jiàn)證了尼康的登峰造極。

當(dāng)時(shí)的他,應(yīng)該不會(huì)想到自己會(huì)在30年后成為尼康的統(tǒng)帥,更想不到自己作為統(tǒng)帥的尼康會(huì)走到今天這步田地。

【02 傲慢】

尼康是如何一步步輸?shù)舻??答案藏在幾個(gè)關(guān)鍵人物的命運(yùn)博弈中。

其中的最大轉(zhuǎn)折點(diǎn)發(fā)生在2002年。

那一年,時(shí)任臺(tái)積電資深處長(zhǎng)的林本堅(jiān),敲開(kāi)了尼康的大門。

針對(duì)當(dāng)時(shí)193nm干式光刻機(jī)遭遇瓶頸、下一代光源研發(fā)停滯的局面,天才科學(xué)家林本堅(jiān)提出顛覆性設(shè)想:

在鏡頭與晶圓之間注入水,借助水的高折射率,一舉突破當(dāng)時(shí)被視為天塹的光源極限。

也就是后來(lái)著名的浸沒(méi)式光刻機(jī)路線。

這本來(lái)是一條成本更低、效果更好的捷徑,卻遭到尼康幾乎所有高管的反對(duì)。從會(huì)長(zhǎng)吉田莊一郎到光刻機(jī)技術(shù)帶頭人馬立稔和,甚至沒(méi)有人有耐心細(xì)聽(tīng)林本堅(jiān)的解釋。


▲圖源:尼康官網(wǎng)

在他們看來(lái),尼康光學(xué)鏡頭是全球第一的精密儀器,把如此精密、價(jià)值不菲的透鏡泡在水里,簡(jiǎn)直是對(duì)光學(xué)工程的褻瀆。

尼康的代表當(dāng)場(chǎng)質(zhì)問(wèn)林本堅(jiān):

“如果水污染了鏡頭,你們臺(tái)積電賠得起嗎?如果氣泡導(dǎo)致批量報(bào)廢,這個(gè)責(zé)任誰(shuí)擔(dān)?”

更重要的是,當(dāng)時(shí)尼康已經(jīng)在157nm干式光刻機(jī)上,投入七億多美金。轉(zhuǎn)而搞浸沒(méi)式路線,之前的巨額投入將全部打水漂。這也是吉田莊一郎們最不能接受的。

所以,尼康不僅拒絕了林本堅(jiān),甚至還試圖利用自己在行業(yè)內(nèi)的威望來(lái)封殺這個(gè)構(gòu)想。

據(jù)林本堅(jiān)后來(lái)回憶,尼康高層曾在他拜訪之后,給時(shí)任臺(tái)積電研發(fā)副總蔣尚義打過(guò)投訴電話,大意是:

“請(qǐng)管好你們的林本堅(jiān),不要讓他到處推銷這種破壞行業(yè)共識(shí)(157nm路徑)的構(gòu)想,這會(huì)讓大家分心并浪費(fèi)資源?!?/p>

但林本堅(jiān)并沒(méi)有放棄自己的想法,在尼康碰壁之后,他飛往了荷蘭。

在那里,他見(jiàn)到了ASML的技術(shù)靈魂馬丁·范登布林克,一個(gè)有著典型歐洲人冒險(xiǎn)基因的工程師。

彼時(shí)的ASML尚在夾縫中求生,急需一個(gè)破局的機(jī)會(huì),林本堅(jiān)的想法令范登布林克欣喜若狂。

此后,范登布林克力排眾議,將ASML所有的資源押注在這個(gè)瘋狂的想法上。

沒(méi)過(guò)多久,ASML就聯(lián)合臺(tái)積電,攻克了浸沒(méi)式技術(shù)。

結(jié)果眾所周知。

2004年,ASML浸沒(méi)式光刻機(jī)問(wèn)世,橫掃全球。尼康引以為傲的頂級(jí)鏡頭,在新的技術(shù)路線面前,頓失風(fēng)騷,其高端光刻機(jī)市場(chǎng)的半壁江山,也一起消失。

【03 孤勇】

如果說(shuō)浸沒(méi)式技術(shù)的失誤是重創(chuàng),那么EUV的豪賭,則是壓垮尼康的最后一根稻草。

面對(duì)浸沒(méi)式光刻機(jī)的失利,尼康并沒(méi)有放棄,而是將目光瞄準(zhǔn)了下一代技術(shù):EUV(極紫外光)。

這是一種波長(zhǎng)更短,能夠在芯片上雕刻更小電路的光源。

彼時(shí)的馬立稔和已經(jīng)從一名普通工程師,成長(zhǎng)為光刻機(jī)技術(shù)負(fù)責(zé)人,眼里看到的仍是那個(gè)屬于尼康的巔峰年代。

他不但在尼康內(nèi)部啟動(dòng)了EUV預(yù)研,擔(dān)任原型機(jī)的技術(shù)掌舵人,而且還立下雄心壯志:全自研、全日本產(chǎn)。

馬立稔和試圖在封閉的墻內(nèi),復(fù)刻那個(gè)精密制造征服世界的時(shí)代,重現(xiàn)日本制造的奇跡。

已經(jīng)失去芯片霸主地位,不忍再失光刻機(jī)的日本政府也給予了大量支持,甚至將其視為國(guó)運(yùn)之戰(zhàn)。

為了集中力量攻克EUV光刻機(jī)技術(shù),日本政府以經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)?。∕ETI)為主導(dǎo),構(gòu)建了一個(gè)龐大的“產(chǎn)官學(xué)”怪物,不但投入數(shù)百億日元資金,吸引東京大學(xué)、京都大學(xué)、筑波大學(xué)等眾多院校的頂尖光學(xué)與材料專家參與,還聯(lián)合尼康、佳能、東京電子、信越化學(xué)等上下游產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè),一起攻關(guān)、研發(fā)。

這是一次典型的日本式?jīng)_鋒:資源集中,目標(biāo)單一。

2012年,馬立稔和升任尼康常務(wù)執(zhí)行董事、全面接管EUV項(xiàng)目后,這場(chǎng)戰(zhàn)役也進(jìn)一步升級(jí)。他手握重兵,試圖用金錢和意志,以及日本上下的必勝?zèng)Q心,砸開(kāi)EUV的大門。

但此時(shí),馬立稔和面對(duì)的,是一個(gè)早已變天的世界。

當(dāng)尼康還在為雄心勃勃的全自研沾沾自喜時(shí),地球另一端的ASML正在編織一張巨大的網(wǎng)。

就在馬立稔和全面接管EUV項(xiàng)目當(dāng)年,ASML接到了英特爾、三星、臺(tái)積電的首次大規(guī)模戰(zhàn)略投資,建起了自己的 EUV聯(lián)盟,不僅捆綁英特爾、三星、臺(tái)積電三大客戶,還集結(jié)了全球最強(qiáng)的產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)參與,德國(guó)蔡司鏡頭、美國(guó)Cymer光源都是其成員。

更要命的是,曾經(jīng)在芯片上吃過(guò)日本大虧的美國(guó),以國(guó)家安全為由,將佳能、尼康等日系廠商,排除在EUV技術(shù)聯(lián)盟外,進(jìn)而也切斷了尼康獲取美國(guó)頂尖技術(shù)的通道。

日本政府對(duì)此束手無(wú)策,馬立稔和的全自研、全日本產(chǎn),因此變成了“閉門造車”。

至2018年,尼康在EUV項(xiàng)目上的投資,據(jù)估算超千億日元,堪稱公司歷史上最大的單筆技術(shù)押注。但這筆投入,換來(lái)的只是一臺(tái)無(wú)法商用的原型機(jī)。

當(dāng)ASML的EUV光刻機(jī)早已在臺(tái)積電產(chǎn)線上瘋狂迭代時(shí),尼康的原型機(jī)依舊在實(shí)驗(yàn)室吃灰。

最終,馬立稔和不得不宣布:終止EUV光刻機(jī)的商業(yè)化開(kāi)發(fā)。

【04 尾聲】

對(duì)尼康而言,這本來(lái)是一場(chǎng)可以避免的悲劇。

當(dāng)林本堅(jiān)的大腦里,迸發(fā)出浸沒(méi)式技術(shù)的念頭時(shí),尼康是他最早接觸的光刻機(jī)廠商之一,也是首選的托付對(duì)象。

但傲慢和對(duì)技術(shù)的盲目自信,讓馬立稔和以及尼康的高管們,對(duì)自己體系之外的新技術(shù)有一種天然的排斥。

錯(cuò)失浸沒(méi)式紅利之后,尼康原本有機(jī)會(huì)翻盤,卻又走上盲目迷信全自研、全精密光學(xué)的垂直整合模式,將自主創(chuàng)新變成了閉門造車。

隨著EUV項(xiàng)目的終止,尼康正陷入前所未有的困局:

在前方,ASML早已絕塵而去;而后方,中國(guó)光刻機(jī)勢(shì)力正以雷霆之勢(shì),蠶食其賴以生存的中低端腹地。

昔日霸主,如今只能在夾縫中艱難喘息,9對(duì)160正是這種困局的真實(shí)寫照。

2025年9月,尼康關(guān)閉了運(yùn)營(yíng)58年的橫濱工廠,標(biāo)志著其光刻機(jī)業(yè)務(wù)進(jìn)一步收縮。而70歲的馬立稔和也即將卸任。

從技術(shù)帶頭人一路走至權(quán)力巔峰,這位尼康老將,曾試圖以一己之力,挽回昔日榮光,但終究力有不逮。

馬立稔和的離去,標(biāo)志著日本光刻機(jī)時(shí)代的落幕。而當(dāng)年那個(gè)被他嘲笑的方案,現(xiàn)如今成了尼康高山仰止般的存在。

站在辦公室,看著玻璃窗里映出的那張蒼老的臉,馬立稔和心里可能在想:

“當(dāng)年要是給林本堅(jiān)一張?jiān)囼?yàn)臺(tái),哪怕是試一試……”

尼康的失敗,是日本產(chǎn)業(yè)加拉帕戈斯化的又一例證:在殘酷的科技產(chǎn)業(yè),最危險(xiǎn)的不是技術(shù)落后,而是傲慢、封閉,是拒絕向外看,陷入進(jìn)化的孤島。

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