前沿導(dǎo)讀

由中芯國(guó)際聯(lián)合創(chuàng)始人王陽(yáng)元、長(zhǎng)江存儲(chǔ)董事長(zhǎng)&第八屆中國(guó)半導(dǎo)體協(xié)會(huì)理事長(zhǎng)陳南翔等人聯(lián)合撰寫的《構(gòu)建自主可控集成電路產(chǎn)業(yè)體系》報(bào)告已經(jīng)發(fā)布在我國(guó)的《科技導(dǎo)報(bào)》上面。

這些處于中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)一線的從業(yè)者們?cè)趫?bào)告當(dāng)中提議，建議國(guó)內(nèi)組建一個(gè)類似于ASML的公司，集成所有技術(shù)去攻克EUV光刻機(jī)，然后組建多個(gè)大型半導(dǎo)體集團(tuán)，在EDA工具、制造設(shè)備、配套材料上面與外國(guó)企業(yè)進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)。

參考資料：
構(gòu)建自主可控的集成電路產(chǎn)業(yè)體系

美國(guó)科技媒體Tom's HardWare對(duì)此分析稱，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的這次建議很大膽，思路清晰，但其中還有許多碎片化的問(wèn)題需要解決。

碎片化問(wèn)題

首先就是設(shè)備問(wèn)題，美媒認(rèn)為，即便中國(guó)企業(yè)開發(fā)出了國(guó)產(chǎn)先進(jìn)光刻機(jī)，那么也需要多年時(shí)間進(jìn)行優(yōu)化，提升其整體的經(jīng)濟(jì)性和可持續(xù)性。只有當(dāng)原型機(jī)的制造效率足夠高，才能進(jìn)入下一步的規(guī)�；慨a(chǎn)。

其次就是制造數(shù)據(jù)，ASML能成功，很大程度上歸功于制造商常年累計(jì)的海量制造數(shù)據(jù)，這些數(shù)據(jù)可以幫助企業(yè)更好的優(yōu)化產(chǎn)品并開發(fā)新設(shè)備，這需要常年的技術(shù)積累，也是中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)需要重點(diǎn)克服的問(wèn)題。

ASML的初代EUV原型機(jī)在2006年交付給了比利時(shí)微電子中心進(jìn)行測(cè)試，但是由于該設(shè)備的激光性能很弱，根本沒辦法制造芯片。后來(lái)美國(guó)西盟公司開發(fā)出了更高性能的激光，于是ASML就在2010年采用西盟公司的技術(shù)，制造了第二臺(tái)EUV原型機(jī)TWINSCAN NXE:3100。

2019年，ASML的EUV光刻機(jī)實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，開始交付給臺(tái)積電進(jìn)行商業(yè)化使用。

從2006年至2019年，ASML一直在解決光刻機(jī)的制造效率以及量產(chǎn)問(wèn)題。解決這個(gè)問(wèn)題只靠ASML一家公司是完成不了的，必須要聯(lián)合供應(yīng)鏈以及制造工廠，依照彼此之間的技術(shù)數(shù)據(jù)進(jìn)行優(yōu)化。

ASML高級(jí)技術(shù)副總裁喬斯·本肖普在官方資料中表示，當(dāng)時(shí)我們已經(jīng)掌握設(shè)備的原理，但是我們卻難以實(shí)現(xiàn)客戶所需的生產(chǎn)效率。要記住，客戶的研發(fā)階段需要時(shí)間，這很重要。在EUV推出之后，芯片制造商需要一到兩個(gè)節(jié)點(diǎn)才能使這項(xiàng)技術(shù)走向成熟，只有成熟掌握其使用方法，才能基于該設(shè)備量產(chǎn)商用產(chǎn)品。

深入合作

在根據(jù)制造數(shù)據(jù)來(lái)優(yōu)化產(chǎn)品之前，首先要完成的工作就是把國(guó)產(chǎn)設(shè)備用起來(lái)。

我國(guó)中科院的陳國(guó)良院士，此前在接受采訪時(shí)表示：我提出了一個(gè)口號(hào)，國(guó)產(chǎn)機(jī)不怕不好用，就怕你不用，只有用了才知道好不好用。你說(shuō)哪里不行，你提出來(lái)，我改。你要是不用，那就因噎廢食了，它永遠(yuǎn)不好用。

參考資料：
「鏈接」

• https://v.douyin.com/NCbaoeE7b6Y/ kpD:/ 11/04 N@w.SL

陳院士對(duì)于國(guó)產(chǎn)設(shè)備的認(rèn)知是非常具有前瞻性眼光的，并且陳院士認(rèn)為，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)設(shè)備發(fā)展的前提是你得先用起來(lái)，不能看到國(guó)外的產(chǎn)品技術(shù)成熟度高，就一直拿錢買國(guó)外的設(shè)備用，從而忽視國(guó)產(chǎn)設(shè)備的發(fā)展。

在能獲得國(guó)外設(shè)備的前提下，采購(gòu)國(guó)外設(shè)備用是一種合作共贏的模式。但現(xiàn)在國(guó)外的許多設(shè)備不賣給你了，你應(yīng)該怎么辦？許多國(guó)產(chǎn)設(shè)備雖然不如國(guó)外的技術(shù)先進(jìn)，但是能在關(guān)鍵時(shí)期拿出來(lái)用。

2025年，有記者再次就國(guó)產(chǎn)設(shè)備問(wèn)題采訪陳國(guó)良院士，咨詢陳院士如今的觀點(diǎn)。

陳院士依然肯定了自己當(dāng)年的想法，并且還表示在技術(shù)團(tuán)隊(duì)以外的地方講話，我們應(yīng)該表?yè)P(yáng)宣傳團(tuán)隊(duì)做出的貢獻(xiàn)。但是在團(tuán)隊(duì)內(nèi)部講話，就要經(jīng)常提出不好的地方讓團(tuán)隊(duì)改進(jìn)。用這種內(nèi)外結(jié)合的方法，推動(dòng)國(guó)產(chǎn)設(shè)備發(fā)展。

參考資料：
「鏈接」

• https://v.douyin.com/eHWwo1u9xV4/

這就又回到了剛才的問(wèn)題上，單獨(dú)依靠制造企業(yè)或者設(shè)備企業(yè)自己的力量是無(wú)法完成產(chǎn)品優(yōu)化的，必須聯(lián)合整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈一起解決問(wèn)題。

我國(guó)中科院院士、前中科院院長(zhǎng)白春禮先生，曾重點(diǎn)分析了中國(guó)光刻機(jī)與外國(guó)光刻機(jī)存在的差別。

白院士指出，在六七十年代的時(shí)候，中國(guó)的光刻機(jī)與國(guó)外的差距并不大，那時(shí)候ASML公司還沒有成立。但是后來(lái)進(jìn)入全球化體系，國(guó)外的產(chǎn)品成熟、價(jià)格穩(wěn)定、整體設(shè)計(jì)也很好，所以我們國(guó)內(nèi)的設(shè)備就發(fā)展不起來(lái)了。

質(zhì)譜儀、電鏡這類產(chǎn)品我們都能做，但是國(guó)外的產(chǎn)品又好又便宜，很多企業(yè)本著經(jīng)濟(jì)性原則，選擇采購(gòu)國(guó)外的設(shè)備。但是現(xiàn)在反過(guò)來(lái)了，外國(guó)企業(yè)不賣給我們，那么好，我們自己就必須做了，這種倒逼機(jī)制也許會(huì)讓我們的產(chǎn)業(yè)更上一層樓。

參考資料：
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• https://v.douyin.com/4BMDY_rXrTs/ X@m.Dh VLw:/ 09/04

全球化的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈可以推動(dòng)整個(gè)行業(yè)發(fā)展，也為合作的雙方創(chuàng)造了各取所需的經(jīng)濟(jì)條件，但同時(shí)也讓中國(guó)本土企業(yè)所開發(fā)的國(guó)產(chǎn)設(shè)備變成了第二選擇目標(biāo)。絕大部分企業(yè)都會(huì)考慮到穩(wěn)定性和經(jīng)濟(jì)性，優(yōu)先選擇海外成熟設(shè)備，這就導(dǎo)致國(guó)產(chǎn)設(shè)備處于一個(gè)不溫不火的尷尬境地。

美國(guó)的制裁讓中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)出現(xiàn)了技術(shù)停滯，國(guó)產(chǎn)制造設(shè)備也在這種狀態(tài)下被推上了風(fēng)口浪尖。此時(shí)的產(chǎn)業(yè)鏈才真正意識(shí)到國(guó)產(chǎn)設(shè)備的重要性，開始大力度推進(jìn)國(guó)產(chǎn)設(shè)備的技術(shù)發(fā)展，深化國(guó)內(nèi)企業(yè)之間的合作。

雖然這個(gè)深化合作的時(shí)間來(lái)的晚了一些，但這是建立在推動(dòng)國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈自立自強(qiáng)的前提下所爆發(fā)出來(lái)的決心。