齊魯晚報·齊魯壹點(diǎn) 李夢晴 孫文麗 通訊員 韓哲 宋釗銘

走進(jìn)山東有研億金新材料有限公司（以下簡稱“有研億金”）生產(chǎn)車間，只見一批批閃爍著金屬光澤的“圓盤”正在精密設(shè)備中加工。它們是高純?yōu)R射靶材，芯片制造中不可或缺的關(guān)鍵耗材?！斑@些靶材雖然在整個芯片制造成本中占比不大，通常在3%到5%，但其純度與質(zhì)量直接決定了最終芯片的性能與良品率?！庇醒袃|金德州生產(chǎn)基地副總經(jīng)理萬小勇手持一片靶材介紹。這里生產(chǎn)的高純靶材，純度可達(dá)99.99999%以上，是國內(nèi)唯一能滿足7納米及以下先進(jìn)工藝制程需求的國產(chǎn)化項(xiàng)目，其產(chǎn)品已成功進(jìn)入臺積電、中芯國際等全球頂尖芯片制造企業(yè)的供應(yīng)鏈體系。

據(jù)悉，位于德州天衢新區(qū)的有研億金主要從事集成電路用高純?yōu)R射靶材等電子專用材料研發(fā)、制造、銷售，公司成功搭建了國內(nèi)領(lǐng)先的產(chǎn)業(yè)化平臺，實(shí)現(xiàn)了從超高純原材料到濺射靶材的垂直一體化研發(fā)與生產(chǎn)，項(xiàng)目于2023年9月投產(chǎn)，現(xiàn)已實(shí)現(xiàn)4.3萬塊/年的設(shè)計(jì)產(chǎn)能。

有研億金的核心產(chǎn)品陣容強(qiáng)大，涵蓋了超高純銅及銅合金靶材、銅磷陽極、超高純鉭靶材、超高純鈷靶材及鈷陽極、超高純鎳釩靶材、超高純鎢及鎢合金等靶材，這些產(chǎn)品批量應(yīng)用于集成電路邏輯芯片、存儲芯片、高端濾波器、大功率器件及先進(jìn)封裝等多個關(guān)鍵領(lǐng)域，憑借卓越性能，深度融入全球高端制造產(chǎn)業(yè)鏈，成為推動行業(yè)發(fā)展的重要力量。

技術(shù)突破是有研億金的核心競爭力。作為國內(nèi)首家、全球極少數(shù)全面掌握集成電路用超高純銅及銅合金濺射靶材制造技術(shù)的企業(yè)之一，公司產(chǎn)品已批量應(yīng)用于我國最先進(jìn)的12英寸晶圓廠銅互連工藝，并在全球主要的先進(jìn)晶圓廠都有廣泛供應(yīng)；同時，公司是國內(nèi)首家、全球第二家實(shí)現(xiàn)超高純鈷靶材垂直一體化制造的企業(yè)，該產(chǎn)品用于集成電路接觸層制備及先進(jìn)鈷互連工藝；另外，公司實(shí)現(xiàn)了12英寸超高純鉭靶、鎢靶的關(guān)鍵技術(shù)快速突破，滿足高端邏輯、存儲芯片應(yīng)用需求，成為國內(nèi)領(lǐng)先的供應(yīng)商。

值得一提的是，公司高端靶材產(chǎn)品能夠滿足7納米及以下先進(jìn)制程的要求，為國內(nèi)外芯片制造企業(yè)提供優(yōu)質(zhì)定制化服務(wù)及配套保障，極大提升了我國集成電路關(guān)鍵配套材料自主可控能力，并在全球集成電路產(chǎn)業(yè)鏈具有越來越高的影響力和競爭力。