河北
散英魂寄千萬(wàn)雄鷹翱翔神州，
盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。
01
前沿導(dǎo)讀
德國(guó)蔡司是ASML光刻機(jī)的獨(dú)家鏡頭供應(yīng)商，也是全球唯一一家可以制造EUV光刻機(jī)鏡組的廠商。由于其出色的技術(shù)水平和制造工藝，蔡司也被國(guó)際產(chǎn)業(yè)稱之為“上帝之眼”。
其涉及的產(chǎn)品眾多，小到眼鏡片、照相機(jī)鏡頭、顯微鏡鏡頭，大到工業(yè)CT鏡頭、光刻機(jī)鏡頭，蔡司這個(gè)公司已經(jīng)成為了全球領(lǐng)先光學(xué)技術(shù)的代名詞。
雖然現(xiàn)在的蔡司如日中天，但是當(dāng)年的蔡司卻遠(yuǎn)沒(méi)有如今這么強(qiáng)大。甚至當(dāng)年蔡司給美國(guó)廠商提供的光刻機(jī)鏡頭，成為了美國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)快速消亡的罪魁禍?zhǔn)住?/p>
02
美日光刻機(jī)大戰(zhàn)
在ASML發(fā)展的初期，由于其名聲小、產(chǎn)品需求量少，很多供應(yīng)商都在拒絕ASML的合作請(qǐng)求。
ASML母公司飛利浦旗下的物理實(shí)驗(yàn)室，在法國(guó)設(shè)有技術(shù)分支，其技術(shù)核心是法國(guó)的CERCO公司。該公司專精于制造高水平光學(xué)鏡頭的制造商，在母公司的推動(dòng)下，ASML的PAS系列光刻機(jī)開始采用CERCO公司提供的鏡頭。
彼時(shí)的國(guó)際光刻機(jī)市場(chǎng)，仍處于美日兩國(guó)企業(yè)爭(zhēng)奪天下的時(shí)期。美國(guó)的GCA與日本的尼康，雙方在光刻機(jī)領(lǐng)域展開了激烈的技術(shù)火拼。
GCA已經(jīng)與蔡司達(dá)成合作，而尼康本身就是傳統(tǒng)光學(xué)技術(shù)起家，可以為自己的光刻機(jī)提供鏡頭?？此齐p方的實(shí)力不相上下，實(shí)際上美國(guó)GCA與蔡司的合作正處于內(nèi)亂的邊緣。
購(gòu)買GCA光刻機(jī)的芯片廠商發(fā)現(xiàn)光刻機(jī)有問(wèn)題，在制造的過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)大量無(wú)法使用的晶圓，GCA就此與蔡司進(jìn)行爭(zhēng)論。蔡司堅(jiān)持認(rèn)為自己的鏡頭沒(méi)問(wèn)題，是GCA的光刻機(jī)設(shè)計(jì)落后，導(dǎo)致產(chǎn)品出現(xiàn)問(wèn)題，GCA必須對(duì)產(chǎn)品重新設(shè)計(jì)修改。
而GCA也對(duì)蔡司進(jìn)行反駁，聲稱蔡司的鏡頭在交付之后有著明顯質(zhì)量下降的情況，是蔡司的問(wèn)題，要求蔡司檢查鏡頭。雙方就這個(gè)問(wèn)題爆發(fā)爭(zhēng)論，誰(shuí)也不肯低頭。
GCA與蔡司的爭(zhēng)吵，也讓ASML躍躍欲試。法國(guó)CERCO公司為ASML提供的鏡頭遲遲滿足不了大規(guī)模制造的要求，ASML便將目光放在了蔡司身上。
飛利浦物理實(shí)驗(yàn)室的技術(shù)專家范希克，曾經(jīng)就彼此之間的合作問(wèn)題求見蔡司數(shù)學(xué)部門負(fù)責(zé)人格拉策爾。經(jīng)過(guò)30分鐘的會(huì)談，格拉策爾的最終回復(fù)很簡(jiǎn)單，蔡司不會(huì)給飛利浦旗下的公司制造鏡頭。
彼時(shí)的美國(guó)GCA公司還有一個(gè)最致命的問(wèn)題，那就是不重視客戶的反饋。依靠自己在光刻機(jī)領(lǐng)域的絕對(duì)領(lǐng)先地位，GCA擁有著極高的市場(chǎng)話語(yǔ)權(quán)，其公司管理層也越來(lái)越傲慢無(wú)禮。而日本的尼康和佳能，則是特別注重客戶意見，并且愿意聽從客戶的意見來(lái)優(yōu)化產(chǎn)品。
1979年，美國(guó)惠普公司公開炮轟美國(guó)本土光刻機(jī)企業(yè)的狂妄自大，并且惠普還在報(bào)告中大肆表?yè)P(yáng)日本企業(yè)的光刻機(jī)產(chǎn)品，稱其質(zhì)量好的難以置信。
尼康憑借著與客戶深度交流、傾聽客戶意見，其制造的光刻機(jī)銷量越來(lái)越好。
1982年，尼康從美國(guó)硅谷建立了分公司，搶奪美國(guó)GCA的客戶群體。GCA的營(yíng)收在這一年中下降了50%，許多美國(guó)的芯片工廠都優(yōu)先選擇購(gòu)買尼康的光刻機(jī)，狂妄自大的GCA開始走向沒(méi)落。
03
美國(guó)光刻機(jī)的黃昏
ASML首位CEO賈特·斯密特在領(lǐng)導(dǎo)公司的過(guò)程中，將客戶意見放在了產(chǎn)品制造的第一位，并表示客戶的愿望就是他對(duì)手下工程師的命令。
而且ASML還有一個(gè)獨(dú)家的技術(shù)手段——超高精度的光刻機(jī)對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，這個(gè)技術(shù)是ASML獨(dú)有的，GCA和尼康均沒(méi)有涉足，這個(gè)技術(shù)成為了ASML與蔡司合作的關(guān)鍵。
1984年，ASML的技術(shù)員馬丁·范登布林克在與蔡司的會(huì)面當(dāng)中，建議其提前檢查供應(yīng)給美國(guó)GCA的光刻機(jī)鏡頭，但是蔡司并沒(méi)有聽他的意見。
蔡司認(rèn)為檢查鏡頭就是浪費(fèi)時(shí)間的行為，畢竟蔡司向GCA交付了上百臺(tái)鏡頭，沒(méi)有一個(gè)被退回，責(zé)任肯定在GCA身上。
馬丁的個(gè)人實(shí)力很強(qiáng)，他給蔡司提的建議都是從技術(shù)角度進(jìn)行分析，非常有用。并且他在后來(lái)還擔(dān)任了ASML首席技術(shù)官，領(lǐng)導(dǎo)團(tuán)隊(duì)開發(fā)出了浸潤(rùn)式DUV和EUV光刻機(jī)。但當(dāng)時(shí)的蔡司心高氣傲，壓根沒(méi)有把他當(dāng)回事。
在隨后的幾年里，GCA給蔡司退回來(lái)了大量光刻機(jī)鏡頭。蔡司對(duì)其進(jìn)行技術(shù)調(diào)查，終于發(fā)現(xiàn)了問(wèn)題。
蔡司使用柔性密封劑將玻璃透鏡黏附到金屬支架上，但是密封劑對(duì)于水分和溫度特別敏感，受熱會(huì)產(chǎn)生膨脹，緊接著玻璃透鏡就會(huì)出現(xiàn)了漂移的情況。這種設(shè)計(jì)剛開始使用的時(shí)候一切正常，可一旦長(zhǎng)時(shí)間使用，機(jī)器內(nèi)部的溫度變高，透鏡就會(huì)出現(xiàn)漂移，從而大幅度降低成像質(zhì)量。
在這種情況下，尼康是競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手，蔡司不會(huì)跟其合作解決問(wèn)題。就算想合作，對(duì)方也不同意，甚至還會(huì)懷疑蔡司是過(guò)來(lái)探取技術(shù)的。思來(lái)想去，只有跟ASML合作這一條路可選。
ASML母公司飛利浦旗下的制造技術(shù)中心對(duì)蔡司伸出援手，維爾澤爾與科斯特兩位技術(shù)人員選擇用鉸鏈固定以及玻璃與金屬膠接的方法，解決了透鏡漂移的問(wèn)題。
在此之前，蔡司拒絕與ASML的任何技術(shù)合作。但是經(jīng)過(guò)這次事件，雙方的關(guān)系得到了進(jìn)一步的加深，也為后來(lái)蔡司入股ASML，幫助ASML制造獨(dú)家光刻機(jī)鏡頭埋下伏筆。
GCA因?yàn)椴趟剧R頭的問(wèn)題，市場(chǎng)口碑出現(xiàn)大面積崩盤。不管是美國(guó)芯片工廠還是其他國(guó)家的芯片工廠，均選擇購(gòu)買日本的光刻機(jī)，或者是荷蘭ASML的光刻機(jī)，美國(guó)的光刻機(jī)成為了燙手山芋。
隨著產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)的不斷升級(jí)，GCA的光刻機(jī)業(yè)務(wù)被美國(guó)硅谷集團(tuán)收購(gòu)。彼時(shí)的光刻機(jī)市場(chǎng)成為了尼康與ASML相互競(jìng)爭(zhēng)的局面，其他競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手要么被大企業(yè)收購(gòu)之后轉(zhuǎn)型其他業(yè)務(wù)，要么就是面臨倒閉的邊緣。
2001年，ASML正式收購(gòu)了美國(guó)硅谷集團(tuán)，將美國(guó)的光刻機(jī)技術(shù)納入麾下。至此，美國(guó)本土企業(yè)徹底退出了光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng)。
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