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美國(guó)是光刻技術(shù)和光刻機(jī)的發(fā)明國(guó),為什么現(xiàn)在的美國(guó)卻沒(méi)有自研的光刻機(jī)?

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散英魂寄千萬(wàn)雄鷹翱翔神州,

盡智魄載十億慧芯呼喚華夏。

01

前沿導(dǎo)讀

美國(guó)不但是晶體管的發(fā)明國(guó),還是芯片、光刻技術(shù)、光刻機(jī)的發(fā)明國(guó)。

但是在后來(lái)的發(fā)展當(dāng)中,美國(guó)本土的光刻機(jī)企業(yè)逐漸銷聲匿跡,唯一的技術(shù)火種也在2001年被荷蘭的ASML全權(quán)收購(gòu)。自此,美國(guó)徹底退出光刻機(jī)產(chǎn)業(yè),也放棄了自主光刻機(jī)的研發(fā)。


在中國(guó)發(fā)展自主芯片技術(shù)的過(guò)程中,美國(guó)又開(kāi)始在背后不斷干預(yù)ASML的運(yùn)營(yíng),以產(chǎn)品禁售的方式來(lái)阻礙中國(guó)技術(shù)的發(fā)展。

這種對(duì)華制裁的政策,也被國(guó)際專家解讀為“非本國(guó)發(fā)明綜合征”,只允許美國(guó)企業(yè)以及美國(guó)投資的企業(yè)發(fā)明新的技術(shù)產(chǎn)品,不允許其他國(guó)家開(kāi)發(fā)出比美國(guó)還先進(jìn)的產(chǎn)品。

02

產(chǎn)業(yè)興衰

1958年,美國(guó)物理學(xué)家杰伊·萊思羅普從顯微鏡成像原理中獲得靈感,通過(guò)倒置顯微鏡以及柯達(dá)公司提供的光刻膠,開(kāi)發(fā)出通過(guò)光學(xué)系統(tǒng)打印復(fù)雜微細(xì)電路的方法。該方法的出現(xiàn),也代表了光刻技術(shù)的出現(xiàn)。

1961年,美國(guó)GCA(地球物理公司)制造出了全球第一臺(tái)重復(fù)曝光光刻機(jī)。先進(jìn)的設(shè)備讓GCA迅速占領(lǐng)市場(chǎng),其市場(chǎng)占有率達(dá)到了60%以上。


1973年,由美國(guó)軍方投資的珀金埃爾默公司制造出了全球第一臺(tái)投影式光刻機(jī),不但降低了整體制造環(huán)節(jié)的成本,而且還提升了芯片的良品率。該設(shè)備的出現(xiàn),讓珀金埃爾默成為了70年代國(guó)際光刻機(jī)市場(chǎng)的霸主。

珀金埃爾默的出現(xiàn),讓GCA感覺(jué)到了市場(chǎng)威脅。

1978年,GCA又推出了更加先進(jìn)的自動(dòng)化步進(jìn)投影光刻機(jī)。該設(shè)備不但分辨率更高,而且支持自動(dòng)化操作,代替了之前需要人工移動(dòng)晶圓的環(huán)節(jié)。盡管這款設(shè)備的售價(jià)高達(dá)45萬(wàn)美元,但是市場(chǎng)反響極好,GCA再次奪回光刻機(jī)市場(chǎng)的領(lǐng)導(dǎo)地位。


1980年,GCA的業(yè)務(wù)達(dá)到頂峰,但是內(nèi)部團(tuán)隊(duì)卻出現(xiàn)了動(dòng)蕩。

其公司創(chuàng)始人格林伯格將自己的精力從帶領(lǐng)企業(yè)發(fā)展技術(shù),轉(zhuǎn)變成了個(gè)人享受,出現(xiàn)了奢侈浪費(fèi)的情況。

格林伯格不但購(gòu)買百萬(wàn)美元的跑車,而且還以考察市場(chǎng)為由,乘坐高端游輪環(huán)游世界。這種紙醉金迷的生活讓格林伯格在面對(duì)客戶的時(shí)候充滿傲氣,也讓許多采購(gòu)光刻機(jī)的客戶對(duì)GCA公司高高在上的姿態(tài)大為不滿。

與此同時(shí),日本的尼康和佳能正在肆意生長(zhǎng)。

1970年,佳能推出接近式光刻機(jī)。

1980年,尼康推出投影光刻機(jī)。

尼康和佳能的光刻機(jī)產(chǎn)品不但性能好、穩(wěn)定性強(qiáng),而且公司還積極傾聽(tīng)客戶的意見(jiàn),不斷優(yōu)化改進(jìn)產(chǎn)品,一點(diǎn)點(diǎn)蠶食美國(guó)光刻機(jī)的市場(chǎng)份額。甚至尼康直接在美國(guó)硅谷創(chuàng)建分公司,搶奪美國(guó)光刻機(jī)企業(yè)的客戶。


而GCA在后來(lái)的發(fā)展中也出現(xiàn)了致命的錯(cuò)誤,沒(méi)有一個(gè)很好的鏡頭供應(yīng)商。

GCA的光刻機(jī)鏡頭供應(yīng)商是特羅佩爾,這是一個(gè)由格林伯格控制的美國(guó)光學(xué)廠商,但是隨著光刻機(jī)技術(shù)的推進(jìn),特羅佩爾無(wú)法提供合格的鏡頭產(chǎn)品,這直接導(dǎo)致了GCA公司走向衰落。

與此同時(shí),由荷蘭經(jīng)紀(jì)事務(wù)所、ASM公司、飛利浦三家勢(shì)力合資所成立的ASML正在越級(jí)挑戰(zhàn)光刻機(jī)技術(shù)。其公司技術(shù)官認(rèn)為,跟隨美國(guó)、日本的路線發(fā)展光刻機(jī),只能成為跟隨者,ASML要直接開(kāi)發(fā)出高水平的自動(dòng)化設(shè)備,甩開(kāi)競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。


1991年,ASML推出了PAS 5500光刻機(jī),這是一臺(tái)先進(jìn)的自動(dòng)掃描光刻機(jī)。該設(shè)備的推出,讓ASML成為了全球第二,僅次于日本尼康。


而美國(guó)本土的光刻機(jī)企業(yè)在后續(xù)的競(jìng)爭(zhēng)中持續(xù)萎靡,不但拼不過(guò)光學(xué)技術(shù)強(qiáng)大的日本企業(yè),甚至連整合供應(yīng)鏈技術(shù)的ASML也打不過(guò)。

珀金埃爾默公司被其他企業(yè)收購(gòu),轉(zhuǎn)型科研儀器的制造。GCA被美國(guó)硅谷集團(tuán)收購(gòu),2001年又被ASML全資收購(gòu)。美國(guó)退出了光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的競(jìng)爭(zhēng),但是又以資本注入的方式,躲在ASML背后進(jìn)行全局操控。


03

產(chǎn)業(yè)博弈

美國(guó)是光刻技術(shù)的發(fā)源地和早期領(lǐng)導(dǎo)者,但技術(shù)優(yōu)勢(shì)本身具有時(shí)效性和動(dòng)態(tài)性,需要企業(yè)持續(xù)創(chuàng)新并隨時(shí)適應(yīng)市場(chǎng)變化。

美國(guó)企業(yè)滿足于短期的市場(chǎng)份額,忽視了技術(shù)迭代的加速和客戶需求的變化,最終在更靈活、更專注的競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手面前失去優(yōu)勢(shì)。

美國(guó)光刻機(jī)公司的失敗,不僅僅只是技術(shù)上面的失敗,其根本原因是管理層傲慢、自大并且沒(méi)有重視客戶的反饋,將市場(chǎng)拱手讓給了競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手。

1990年代,美國(guó)政府在組建EUV LLC技術(shù)聯(lián)盟中的決策表明,當(dāng)涉及核心關(guān)鍵技術(shù)時(shí),政治考量往往壓倒商業(yè)邏輯。美國(guó)之所以選擇將荷蘭的ASML納入聯(lián)盟當(dāng)中,而不是選擇技術(shù)底蘊(yùn)更好的日本尼康,就是基于地緣政治而非純粹技術(shù)優(yōu)劣的決策。


ASML的成功,在于其創(chuàng)建了全球協(xié)同創(chuàng)新網(wǎng)絡(luò),整合各國(guó)頂尖供應(yīng)商的最優(yōu)技術(shù)。

而美國(guó)光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)的衰落部分源于過(guò)度自信和封閉創(chuàng)新,忽視全球技術(shù)資源的整合潛力。日本的光刻機(jī)企業(yè)雖然注重自主創(chuàng)新,但其產(chǎn)業(yè)鏈相對(duì)封閉,錯(cuò)過(guò)了浸潤(rùn)式技術(shù)和EUV技術(shù)的早期開(kāi)發(fā)。

對(duì)于中國(guó)的光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō),雖然被美國(guó)封鎖了EUV和部分先進(jìn)的DUV設(shè)備,但是美日兩國(guó)光刻機(jī)的落后,給了中國(guó)企業(yè)發(fā)展自主技術(shù)的經(jīng)驗(yàn)。

要聯(lián)合產(chǎn)業(yè)鏈共同構(gòu)建自主可控的技術(shù)體系,注重客戶導(dǎo)向,避免重復(fù)出現(xiàn)美國(guó)企業(yè)在企業(yè)運(yùn)營(yíng)上面的根本性治理失誤。

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